电极涂层厚度测量
测量要求
扫描一条线，以基板为基准面测量与涂层的段差即为涂层的厚度
主要特点概览
1.非接触式测量，一体化设计
2.适用范围广，装拆方便
3.±0.5到±1μm重复精度保证
4.一线式扫描，速度可达到50mm/s，大大提高检测速度
5.离线式检测，厚度数据存储，形成管理统计/分析基础数据
6.丰富的报警功能，OK、NG提示，监控测量全过程，管控品质，提高效率
测量结果
涂层厚度约为18μm±1μm
解决现阶段测量装置存在的问题
1.对测量材料有一定要求
2.接触式测量，对测量材料有损坏
3.测量范围小，位置不确定，测定困难
4.测量速度慢、精度低，测量误差大
5.结构复杂，成本高
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