简介

高性能MFC，为半导体行业量身打造

S300系列数字质量流量控制器/流量计：采用公司自主研发的工业级流量传感器，结合精细抛光气路结构以及高精度数字控制电路和算法，实现高精度、低零漂、高重复性控制。该产品配备现场显示屏和地址编码开关，多种通讯方式可选、可定制全金属密封，适配半导体、真空镀膜、光伏及其它各类应用环境 。

主要优势

S1 物理功能模块丰富

顶部配置有丰富的功能模块：

* RJ45数字通信接口(可定制

   EtherCAT或RS485协议)

* 地址编码开关

* 现场显示屏

* 状态指示灯

此外，侧面配置有M8航空供电接口，显示直观、操作简单，方便用户进行现场流量监测和控制。

S2 快速响应

1.5ms传感器响应时间，0.1~0.5s仪表系统响应时间，及时捕捉微小流量变化。

S3 高精度

2.0%-百分F.S.全量程段保持高精度：

0.3%F.S.(≤30%F.S.)；1.0%S.P.(＞30%F.S.)

S4 配备专用上位机

配备功能强大的SmartFlow上位机软件，支持多台联动，方便进行监测和设备配置。

S5 认证产品

通过TüV国际机构CE&EMC认证，或JLY一级校准证书等，符合多项SEMI标准。

产品规格

*  除非另有说明，本产品标定于以下条件：氮气、温度25℃、2.5bar差压(进气口3.5bar绝压对出气口1bar

    绝压)、水平放置安装。

*  建议在入口端安装尺寸合适的直管段，否则可能会引起精度产生偏差。

*  建议在入口端和出口端匹配尽可能大的接头，以避免导致额外的压损。

1  所示量程为氮气可选量程。

2  %F.S.指误差占满量程的百分比。

3  %S.P.指误差占设定值的百分比。

4  响应时间指达到设定值±2%以内所需要的时间。

5  工作压力指进气口与出气口(1bar绝压)之间的差压，更多细节请联系我们。

 尺寸及通信

青岛芯笙微纳电子科技有限公司，位于青岛市崂山区国际创新园，孵化自山东大学。公司以高端气体质量流量计/控制器（MFC）、薄膜真空计（Vacuum?Gauges）、压力控制器（EPC）等半导体核心零部件的研发、生产和销售为主营业务，通过自主创新、产学研合作及成果转化、行业整合等手段，实现快速发展，助力国家半导体产业的发展。
?????????公司现有发明专利21项，实用新型专利12项，国家一级计量证书、CE认证、TUV?EMC认证、防爆认证等各类证书30余份，从核心芯片到模组、算法构建了全链条技术能力。核心研发成员来自新加坡微电子研究院、德国卡尔斯鲁厄理工学院、山东大学、中科院、复旦大学等科研机构以及国内知名仪器仪表企业，全力打造国内一流研发团队。
????????公司获评国家高新技术企业、青岛市“专精特新”企业，承建有青岛市先进传感器重点实验室、青岛市先进气体流量测控技术工程中心、青岛市专家工作站等研发机构，并承担多项科技部重点研发计划、山东省重大创新工程、青岛市重点项目等国家及省部级技术攻关课题。
????????公司现有千级和万级洁净厂房3000余平米，在青岛、深圳、潍坊等地设有制造基地和研发中心，全面保障产品的高质量、快速出货能力，并提供专业的售前售后服务。