Pfeiffer 普发 SPM 220 质谱光谱仪分析设备
产品规格:
类型:
质谱
领域:
工艺流程
其他特性:
用于气体分析
产品介绍:
飞溅过程显示器从Pfeiffer真空的SPM 220是可能协助飞溅与对气体的它的定量和定性分析的过程的一台高效率的单光束贝克曼气体分析仪。 气体的优秀检测极限例如O2, H2和二氧化碳和一个质谱仪系统和HiPace涡轮抽的驻地,它的组合成为了真空镀膜系统和半导体生产的理想的选择。
的SPM离子源保证对气体的精确和快的瞬间工艺过程分析的可能性由10-2hPa决定压力。 由10 hPa决定上述的压力的处理气体分析使成为可能通过拥有有差别的抽的管口耳轮缘的模型。