新一代工业级流量传感器芯片与先进气路结构的结合

数字质量流量控制器：采用公司自主研发的工业级先进流量传感器芯片，结合低压损气路结构以及高精度数字控制电路和算法，实现宽温范围内的高精度、高稳定性、宽量程比控制。该产品配备现场调试屏及独立供电接口，适配半导体 、真空镀膜、光伏及其它各类应用环境 。

   基于科学家托马斯提出的“气体的吸热量或放热量与气体的质量流量成正比”理论发展而来。无气流时，以Heater为中心的温度场对称分布；有气流时，温度场分布发生偏移，导致上下游出现温差，通过测量该温差，即可推算出流过芯片表面的气体质量流量。

   青岛芯笙MFC-S500系列气体质量流量控制器，具有*的气体流道设计，可实现灵活的分流比配置，量程覆盖1sccm~120slm，最小控制精度为0.1sccm，0~50℃温度范围漂移量仅为0.4~0.6%。在电学信号方面，提供多种数字和模拟控制方式，并配备工业级显示屏，方便客户现场调试和配置。

青岛芯笙微纳电子科技有限公司，是一家专业从事新型智能气体流量测控传感器芯片设计、模组和仪表开发，以及测试标定和销售于一体的高科技企业。公司位于青岛市崂山区青岛国际创新园，毗邻山东大学（青岛校区）、中国海洋大学、北航微电子研究院、青岛大学等著名学府。公司创始团队成员来自海外传感器技术研究单位、国内大型仪器仪表公司，在传感器芯片设计、模组和仪器仪表开发等方面具有丰富经验。公司与新加坡科技局微电子研究院、上海微技术工业研究院等单位建立了长期战略合作关系，与山东大学和北航微电子研究院在新型传感器芯片开发方面具有密切合作关系。

目前，公司专注于流量传感器芯片、质量流量计（MFM）、质量流量控制器（MFC）、数字风速计等气体流量测控芯片、模组和仪表的研发和销售，制造平台具有高精流量标定设备以及9000平米千级无尘封测车间，具备ISO9001, ISO14001, IATF16949等品质管理和制造认证。相关气体质量流量计及控制器产品被广泛应用于实验室、计量院、半导体制造、氢能环保、气体工程等领域，以及消费电子和汽车电子厂商。同时，公司通过与国内人工智能芯片设计公司合作，提供“AI MEMS”低功耗专用智能传感器的解决方案与技术开发服务。

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