紧凑型流量控制器（Mass Flow Controller）是基于业内先进的流量传感器芯片技术，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。操作使用方便，可任意位置安装，广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。输出信号可选择：4-20mA和1-5V模拟信号，以及RS485等数字通信方式。

• 半导体加工

• 分析仪器

• 燃烧控制器                      

• 真空技术

• 表面处理                      

• 食品和制药

• 化工（石化）等过程控制

?

紧凑型流量控制器产品特点  Feature

• 温度和压力不敏感

• *的零点稳定性

• 超快的响应速度

• 良好的重复性和再现性

• 多种信号输出方式

• 配备比例电磁阀

?

紧凑型流量控制器产品规格

尺寸图  Dimension

安全使用

产品用于有害气体或爆炸性气体时，须严格按照产品使用说明或咨询公司技术人员。有关产品应用的新信息，请与厂家联系索取或访问公司网站。强腐蚀性或氟化物气体可能影响产品正常工作，甚至对产品造成毁损。产品经过密封处理并在装箱前进行过防漏试验，在高压下使用必须按照产品使用说明的限制，否则会导致泄漏及安全问题。

注意：未经公司许可，任意改动或不当使用本产品可导致不可预见的损坏、人员伤害及其它有害后果，公司将不负任何责任。

产品保修

产品必须在说明书规定的正常工作条件下，严格按照正确的方法安装、使用并维护保养。产品质量保证期，从发货之日起提供365天免费保修。维修或更换的产品，保修期为 90 天或延续原保修期（以更长者为准）。

芯笙微纳电子科技有限公司（以下简称芯笙科技）不对安装、拆卸及替换（但并不仅限于安装、拆卸及替换）所导致的任何直接及间接损害和损失承担任何责任。为避免不必要的纠纷，用户应将其有疑问的产品送还公司，公司对问题进行确认后，确定维修或替换。用户承担产品送交芯笙科技的费用及可能风险，芯笙科技承担产品送还客户的费用及可能风险。芯笙科技的所有销售合同认定用户自动接受此保修条件及其中芯笙科技的有限责任。仅芯笙科技有权更改、修订保修条件或决定不执行其条款。

注意，下列情况不适用保修条款：

1）产品被改变、改装、处于说明书规定的(或之外的)不正常环境及其它任何可被视为非正常使用的情况；

2）非本公司原装产品。

对于产品拆封后的包装箱体、填充材料、防静电袋等废弃物，请按照纸张、塑料和其他垃圾进行分类处理。对于达到使用寿命的产品，请参照国家对电子电器产品的相关报废规定进行处理。

青岛芯笙微纳电子科技有限公司，位于青岛市崂山区国际创新园，孵化自山东大学。公司以高端气体质量流量计/控制器（MFC）、薄膜真空计（Vacuum?Gauges）、压力控制器（EPC）等半导体核心零部件的研发、生产和销售为主营业务，通过自主创新、产学研合作及成果转化、行业整合等手段，实现快速发展，助力国家半导体产业的发展。
?????????公司现有发明专利21项，实用新型专利12项，国家一级计量证书、CE认证、TUV?EMC认证、防爆认证等各类证书30余份，从核心芯片到模组、算法构建了全链条技术能力。核心研发成员来自新加坡微电子研究院、德国卡尔斯鲁厄理工学院、山东大学、中科院、复旦大学等科研机构以及国内知名仪器仪表企业，全力打造国内一流研发团队。
????????公司获评国家高新技术企业、青岛市“专精特新”企业，承建有青岛市先进传感器重点实验室、青岛市先进气体流量测控技术工程中心、青岛市专家工作站等研发机构，并承担多项科技部重点研发计划、山东省重大创新工程、青岛市重点项目等国家及省部级技术攻关课题。
????????公司现有千级和万级洁净厂房3000余平米，在青岛、深圳、潍坊等地设有制造基地和研发中心，全面保障产品的高质量、快速出货能力，并提供专业的售前售后服务。