新一代工业级流量传感器芯片与先进气路结构的结合

数字质量流量控制器：采用公司自主研发的工业级先进流量传感器芯片，结合低压损气路结构以及高精度数字控制电路和算法，实现宽温范围内的高精度、高稳定性、宽量程比控制。该产品配备现场调试屏及独立供电接口，适配半导体 、真空镀膜、光伏及其它各类应用环境 。

   基于科学家托马斯提出的“气体的吸热量或放热量与气体的质量流量成正比”理论发展而来。无气流时，以Heater为中心的温度场对称分布；有气流时，温度场分布发生偏移，导致上下游出现温差，通过测量该温差，即可推算出流过芯片表面的气体质量流量。

   青岛芯笙MFC-S500系列气体质量流量控制器，具有*的气体流道设计，可实现灵活的分流比配置，量程覆盖1sccm~120slm，最小控制精度为0.1sccm，0~50℃温度范围漂移量仅为0.4~0.6%。在电学信号方面，提供多种数字和模拟控制方式，并配备工业级显示屏，方便客户现场调试和配置。

青岛芯笙微纳电子科技有限公司，位于青岛市崂山区国际创新园，孵化自山东大学。公司以高端气体质量流量计/控制器（MFC）、薄膜真空计（Vacuum?Gauges）、压力控制器（EPC）等半导体核心零部件的研发、生产和销售为主营业务，通过自主创新、产学研合作及成果转化、行业整合等手段，实现快速发展，助力国家半导体产业的发展。
?????????公司现有发明专利21项，实用新型专利12项，国家一级计量证书、CE认证、TUV?EMC认证、防爆认证等各类证书30余份，从核心芯片到模组、算法构建了全链条技术能力。核心研发成员来自新加坡微电子研究院、德国卡尔斯鲁厄理工学院、山东大学、中科院、复旦大学等科研机构以及国内知名仪器仪表企业，全力打造国内一流研发团队。
????????公司获评国家高新技术企业、青岛市“专精特新”企业，承建有青岛市先进传感器重点实验室、青岛市先进气体流量测控技术工程中心、青岛市专家工作站等研发机构，并承担多项科技部重点研发计划、山东省重大创新工程、青岛市重点项目等国家及省部级技术攻关课题。
????????公司现有千级和万级洁净厂房3000余平米，在青岛、深圳、潍坊等地设有制造基地和研发中心，全面保障产品的高质量、快速出货能力，并提供专业的售前售后服务。