轮廓仪概述

Rtec 轮廓仪在加利福尼亚硅谷制造。已被多个实验室、大学和行业使用。UP系列在一个头上组合了4种成像模式。能够在同一测试平台上运行多种测试，只需单击按钮，就能转换成像模式。这种组合可以轻松地对任何表面进行成像如 透明，平坦，黑暗，扁平，弯曲的表面等。每种成像模式都具有各自的优势，并且各项技术彼此互补。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。

3D光学轮廓仪组合

白光干涉仪

旋转盘共聚焦显微镜 

暗视野显微镜

明视野显微镜 

主要平台规格

 产品规格

标准电动平台150x150mm（可选210x310mm）

标准转塔，电动转塔可选

垂直范围可达100mm

倾斜阶段6度

XY平台分辨率0.1um

自动拼接楷模

Sigma头 - 仅限白光干涉仪

Lambda头 - 白光干涉仪+共焦+暗场+明场

 应用

 ●粗糙度  ●体积磨损   ●台阶高度   ●薄膜厚度   ●形貌

测试图像示例

               DLC涂层球                                 粗糙涂层表面                                     圆球磨斑

                  金刚石                                         生物膜                                         微流体通道

             聚合物涂层                                        墨痕                                               硬币

             研磨垫                                        铝的失效痕迹                                    划痕

       涂层失效痕迹                                       芯片通道                                        晶圆

以上为双模式三维表面轮廓仪拍出的样品形貌。在同一平台上结合使用多种光学技术，测试仪可以测量几乎任何类型的nm分辨率样品。该表面轮廓仪配有功能强大的分析软件，符合多种标准。双模式三维表面轮廓仪能够在同一测试平台上运行多种测试，产品的组合可根据不同的技术应用要求而改变。针对样品的同一区域可进行不同模式的实验检测，模式切换可实现自动化。多项技术的整合能够使不同技术在同一检测仪上充分发挥各自的优势。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。

北京中精仪科技有限公司是一家致力于提供先进的科研生产测试仪器及相关技术咨询服务的科技企业, 公司由来自美国的相关领域资深专家成立, 公司总部设在美国加州硅谷地区。

公司多年来秉承着“精益求精”的经营理念，为中国高等院校、科研机构、生产企业配备了大量先进的专业仪器。提供了高水平、专业化的技术产品及高质量的售后服务。

公司销售的产品涉及到：

（1）材料力学试验机：摩擦磨损试验机，耐磨试验机，真空试验机，电化学腐蚀试验机，疲劳试验机，弯曲扭转试验机，微纳划痕仪、压痕仪，高温微米压痕仪等。

（2）材料表面分析 ：三维形貌仪，白光干涉仪，激光共聚焦显微镜，原子力显微镜等。

（3）半导体设备/CMP ：原子层沉积系统（ALD），MBE分子束外延系统，激光脉冲沉积(PLD)，物理气相沉积系统（PVD），化学机械抛光设备（CMP）等。

（4）生化仪器：激光拉曼光谱仪等

（5）扭矩测试：多功能扭矩测试仪，电机扭矩测试仪，轴承扭矩测试仪等。