主要特点：

陶瓷载盘采用高纯超细氧化铝粉体经高温烧制而成，具有纯度高、杂质少、硬度高、耐磨耐腐蚀等特点，并且产品精度高、热膨胀系数小、精度保持性好，适用于半导体晶圆材料的超精密加工。

Main features

Ceramic Holder is made of high purity and ultra-fine alumina powder by high temperature firing. It has the characteristics of high purity, less impurities, high hardness,wear resistance and corrosion resistance. The products has high precision, small thermal expansion coefficient and good accuracy retention. It is suitable for ultra-precision processing of semiconductor wafer materials.

 

用途：

主要用于LED 衬底及半导体晶圆（蓝宝石片、碳化硅片、硅片、锗片、砷化镓片、氮化镓片等）及其材料晶圆及窗口片的减薄、硬抛及CMP 抛光制程。

Application

It is mainly used for thinning, hard polishing and CMP polishing of LED substrate and semiconductor wafers(sapphire wafer, silicon carbide wafer,silicon wafer, germanium wafer, gallium arsenide wafer, gallium nitride wafer, etc.).

 

规格型号：

我公司可按照客户的定制化需求提供陶瓷载盘产品，直径范围：Φ5~800mm。陶瓷载盘厚度：1~200mm， 平面度：0.001~0.002mm，并且可以根据客户的要求进行设计和制造各种非标陶瓷载盘。

Specification:

Our company can provide ceramic disc products according to customer's customized requirements, diameter range is Φ5~800mm. the thickness range is 1~200 mm, flatness range is 0.001~0.002 mm, and can be designed and manufactured according to customer requirements of various non-standard ceramic holder.

 

陶瓷载盘规格及精度

Model specification and the precision for ceramic holder

郑州磨料磨具磨削研究所有限公司（简称“三磨所”）成立于1958年，是我国磨料磨具行业的综合性研究开发机构，全国磨料磨具、超硬材料行业技术研究、开发、信息和咨询服务中心。1999年转制为科技型企业，隶属于世界五的“有限公司”。继1963年和1966年成功开发出一颗人造金刚石和立方氮化硼之后，我公司又相继开发出一系列空白的超硬材料制品、行业专用生产和检测设备仪器。1993年和2015年，“国家超硬材料及制品工程技术研究中心”和“超硬材料磨具国家重点实验室”分别依托我公司组建，标志着我公司在行业中的技术地位。 我公司致力于超硬材料制品和行业专用生产、检测设备仪器的研发与生产。现拥有陶瓷结合剂、树脂结合剂、金属结合剂、电镀金属结合剂超硬材料制品及行业专用生产、检测仪器设备等十余条生产线，具备年产60万件超硬材料制品和4000多台套设备仪器的生产能力。秉承“合力同行,创新共赢”的核心价值观，我公司始终以“以创新和有成效的工作促进行业发展，用辛勤和有价值的劳动创造幸福生活”为使命，致力于行业服务工作，努力成为“创新发展的前行者、社会价值的创造者、员工幸福的提升者”