小模数齿轮街形也可以直接用光学分度头，添加专用的定位装置后，用极坐标法测最:

    直角坐标法直角李标法测齿形是把被哈默纳科直角坐标台谐波齿轮CSF-5-50-1U测齿形皆丁给定的直角坐标系中，测出实际齿形各点的纵横坐标值，经数据处理求出与理论坐标值之差，获得齿形误差。

   齿距误差是在通过分锥卜的齿面中部或者靠近分锥齿面中部哈默纳科直角坐标台谐波齿轮CSF-5-50-1U。以齿轮旋转轴心为轴心的圆周上测定的，在中点分圆上以弧长计值。其测量原理、方法与圆柱齿轮基本相同，主要差别是锥齿轮侧量仪上安装被测齿轮的夹具轴线能够倾斜一定的角度(即被测齿轮的分锥角)。

 单项测量虽然可以确定某一单个要素误差的大小。哈默纳科直角坐标台谐波齿轮CSF-5-50-1U但它还不能真实地反映出齿轮实际工作中的精度