美国ZYGO白光干与仪8200

　　NewView 8200系列的3D光学表面轮廓仪能够提供强壮的多功能的非接触式光学表面形貌丈量分析。一切的丈量都无损、快速，并且不需要样品制备。强壮的分析软件能够准确的描绘和定量分析表面粗糙度、台阶高度、要害尺度和其它形貌特征。 运用zygo的相干扫描干与技术，NewView 8200系列轮廓仪能够很简单的丈量各种原料表面，包含光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和台阶面等。

　　体系参数：

　　◆原理: 非触摸、三维白光扫描干涉仪

　　◆扫描装置: 闭环反馈压电陶瓷，高线性电容传感器

　　◆视场:规范装备：0.04-16mm，跟物镜和扩大倍率有关,运用图像拼接技能可以得到更大范围

　　◆光源: 均匀成像，高效率，特殊规划长寿命白光LED

　　◆物镜座标配:可快速装卸单物镜夹具

　　◆控制 :滤光板托架，视场光阑（辅助聚集）

　　◆丈量阵列:标配1024×1024 像素；可选分辨率：512×512

　　◆样件调查: 专用液晶显示屏实时调查

　　◆精细聚集 :电控手动和主动聚集

　　◆Z 轴驱动:直流无刷微步进电机驱动，100mm 行程,0.1μm 精度

　　◆尺寸:体系尺寸：151×73×61cm ，NewView：81×58×41cm

　　◆分量 :体系分量：约229Kg

　　◆输入电压: 100-240VAC,50/60 Hz

　　◆计算机: 带液晶显示器的高性能DELL 计算机

　　◆软件:ZYGO MX软件

　　◆物镜座: 标配，可快速装卸单物镜夹具

　　◆物镜：1X，2X，2.75X，5.5X，10X，20X，50X，100X。

　　◆塔台:手动6位塔台；电控 64位塔台；

　　◆样品台:手动/俯仰/歪斜(±4°)和XY 平移(100mm)和电动/俯仰/歪斜(±4°)和XY 平移(100mm)电动可选

　　◆纵向扫描范围:150μm，拓宽扫描形式可到20mm,

　　◆纵向分辨率 ＜0.1nm,横向分辨率 0.34μm（100X物镜下）

　　◆扫描速度 ≤34μm/sec,与所选的CCD 和扫描形式有关

　　◆zui大数据点: 规范307200；可选984064；

　　◆RMS 重复性 ＜0.01 nm， RMSσ

　　◆台阶丈量 准确度： ≤ 0.8% ;重复性≤ 0.1% @ 1σ

　　◆测样品特性:各种材料的外表：通明，不通明，镀膜,非镀膜，反射，弱反射

　　◆反射率: 0.5-

　　◆zui大尺寸: 89×203×203mm(高×宽×长);