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高精度气体分析仪 HiQuad™
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伯东企业(上海)有限公司深圳办事处·更新于2023-11-04 07:07:05·58次访问
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高精度气体分析仪 HiQuad™
伯东公司普发 Pfeiffer 高精度气体分析仪 HiQuad™, 可实现达 125μs / amu 的测量速度, 使用 Quadera® 软件, 操作简单. 质谱分析仪模块化设计方便集成, 根据实际需要可以自由选择质量范围, 杆直径, 离子源, 探测器和界面.

Pfeiffer 质谱分析仪 HiQuad™优势
1. 模块化设计灵活
2. 使用 Quadera® 软件, 操作简单
3. 的测量速度, 达 125μs/ amu
4. 的灵敏度且动态范围宽
5. 内置的互联网浏览器和 OPC 服务器用于与基于 PC 的程序进行通信

质谱分析仪 HiQuad™ 技术规格

质量数 amu

1-128

1-300

1-512 *3)

检测限 mbar

5X10-16

2X10-15

1X10-15

Ar 灵敏度, *1) A/mbar

1X10-3

2X10-4

5X10-4

操作压力 mbar

法拉第

1X10-4

1X10-4

1X10-4

SEM

1X10-5

1X10-5

1X10-5

分压比 SEM ppb

< 0.3

< 1

< 0.5

分析仪

QMA 410

QMA 430

QMA 400

杆系统, 材料 / 直径 mm

Mo / 16

不锈钢 / 8

Mo / 8

射频发生器 (RF)

QMH 400-1

QMH 400-5

QMH 400-5

静电计前置放大器

EP 422

EP 422

EP 422

工作温度 / 分析仪°C

150

150

150

烘烤温度 / 分析仪 *2) °C

400

400

400

连接法兰

DN 100 CF-F

DN 63 CF-F

DN 63 CF-F

*1) 偏转单元中的法拉第,标准分辨率,带磁铁的交叉束离子源,发射 1 mA
*2) 带磁铁, 300°C
*3) 八小时内稳定性 < 0.1%, 有助于对相邻质量数 40Ar / 41

Pfeiffer 质谱分析仪 HiQuad™应用
pfeiffer普发质谱分析仪


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上海伯东: 叶女士 中国台湾伯东: 王女士
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伯东公司成立于1953 年,范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司()主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作,集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市:北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念,已累计为超过10,000家企业提供真空服务,覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。上海伯东代理品牌包含:德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机,美国HVA 真空阀门,美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机,离子蚀刻机,真空镀膜系统及配套真空零配件等。上海伯东作为国际真空品牌代理商,全权负责在中国地区的销售和维修服务,99% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师;拥有的拆解,维修,校正能力并提供24小时在线服务。
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