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PTL-VM500 真空等离子表面处理系统
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苏州汶颢微流控技术股份有限公司·更新于2023-11-16 12:26:59·53次访问
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低温等离子表面处理设备由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组 成。工作基本原理是在真空状态下,等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体,利用真空泵将工作室进行抽 真空达到 30-40pa 的真空度,再在高频发生器作用下,将气体进行电离,形成等离子体(物质第四态),其显 著的特点是高均匀性辉光放电,根据不同气体发出从蓝色到深紫色的彩色可见光,材料处理温度接近室温。这 些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用,得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各 种表面改性。

技术参数

1、设备外形尺寸: 450mm*400mm*240mm

2、真空仓体尺寸: Φ151×300(L)mm (5L)

3、仓体结构: 不锈钢腔体,内置容性耦合电极,无污染,内置石英托盘。

4、等离子发生器: 射频,功率 0-300W 调节,全电路保护,连续长时间工作(风冷)。

5、控制系统:PLC 触摸屏全自动控制,采用欧姆龙、施耐德等进口品牌电器元件,有手动、自动两种控制 模式,真彩台达触摸屏,西门子可编程控制器(PLC),美国产真空压力传感系统,可在线设定、修改、 监控真空压力、处理时间、等离子功率等工艺参数,并具有故障报警、工艺存储等多种功能。在自动模式 下设置各项工艺参数,即可一键启动,连续重复运行。手动模式用于实验工艺以及设备维护维修。

工艺流程:

1、处理工艺流程 装入工件→抽真空→冲入反应气体→等离子放电处理→回冲气体→取出工件

2、工艺控制:

2.1 处理时间控制: 1 秒~120 分钟连续可调。

2.2 等离子放电压力:30~50Pa。

2.3 功率设定范围:0~300W 连续可调。

2.4 流量设定范围: 气体 1(0~300ml/min) 气体 2(0~500ml/min)。

PLC 软件功能(操控界面)

普特勒小型真空等离子表面处理系统界面

主画面:实时监视并显示运行状态及数据,等离子电源功率、气体流量、阀门开关、真空压力、 运行时间等。

参数设置:可设定、修改工艺参数及步骤。

工作状态:可在线查看真空压力、等离子功率等数据及状态。

故障报警:多种故障检测、报警及互锁保护

PDMS 芯片键合应用

普特勒小型真空等离子表面处理系统PDMS芯片键合应用

PDMS 与载玻片键合效果

键合后进行剥离实验,PDMS 撕裂后亦无法与载玻片分离,可见键合层的强度远远高于 PDMS 本身。 本系统工艺过程简单,成品率高,键合速度快,强度高,不会发生漏液现象。

普特勒小型真空等离子表面处理系统PDMS 与载玻片键合效果

苏州汶颢微流控技术股份有限公司是一家留学人员回国创业的企业,集研发、生产、销售为一体,技术力量雄厚,生产设备*,检测手段齐全,产品质量过硬。公司建立了完备的微流控芯片研发与生产中心,配置了三条微流控芯片生产线,包括数控CNC微加工仪器,软刻蚀有机芯片加工系统,光刻-掩模无机芯片加工系统,可以加工生产所有材质的芯片,如玻璃、石英、硅、PDMS和PMMA等。产品涵盖集成式通用医疗诊断芯片、集成式通用环境保护分析监测芯片、集成式通用食品安全分析检测芯片和基于微流控芯片的新能源体系四大系列数十个品种,以及各类科研类芯片,并在生物芯片和化学芯片领域一直保持技术和研发的前沿地位,拥有102项知识产权,其中:已申请发明43件,已22件,实用新型51件,6项国家计算机软件著作权,3项国家注册商标,获批成品3项。苏州汶颢微流控技术股份有限公司提供的产品和服务按市场可分为科研类芯片、仪器标配芯片、应用类芯片及系统和芯片实验室解决方案。科研类芯片服务于基于微流控芯片的科研工作者,提供包括聚二甲基硅氧烷(PDMS)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、玻璃及硅基等各种不同材质的微流控芯片的设计与制备,用户只需配置必要的辅助设备即可使用;仪器标配芯片是针对国内市场上微流控芯片仪器开发的标准芯片,为微流控芯片仪器的核心组件,属耗材类产品,如毛细管电泳芯片;应用类芯片及系统是利用微流控芯片的技术优势开发的分析检测装置,应用于环保、食品安全、药物筛选等领域;芯片实验室解决方案为客户提供完整的一对一的微流控芯片科研或应用的解决方案,分为产品和科技咨询两个方面:产品包括微流控芯片加工、检测仪器设备配置及微流控芯片配件配置;科技咨询为客户提供组建芯片实验室的整体方案、解决微流控芯片应用中的技术难题、微流控芯片项目研发服务等。按照现代公司制度规范运作企业是公司创办伊始就秉承的基本理念,目前,公司的团队结构、人事制度、财务制度、知识产权制度等都已经逐步形成和完善。公司的口号:高品质、高信誉、高效率。公司的宗旨:以发明创新为龙头,以科技成果转化为手段,以微流控芯片领域为主战场,走科研成果商品化,商品产业化,产业规模化和国际化的道路,以自主创新的核心技术为基础的竞争战略为企业长期发展战略,整合产业链的各项优势资源,打造以自主创新为企业特色的产业价值链,塑造民族品牌,迎接国际化的挑战。公司宗旨:以发明创新为龙头,以科技成果转化为手段,以微流控芯片领域为主战场,走科研成果商品化,商品产业化,产业规模化和国际化的道路。企业文化:诚信、踏实、优质!经营理念:以人为本,精诚团结,诚信合作,多边共赢。价值观念:追求,勇于创新的企业形象;高效精干,自强不息的队伍形象; 求真务实,锐意进取的干部形象;外在唯美,内在唯实的产品形象; 严细认真,科学规范的管理形象;诚实守信,超越期望的服务形象。企业使命:产业报国、创造价值、服务社会、贡献人类。企业愿景:做微流控芯片行业的!苏州汶颢微流控技术股份有限公司以专长造福顾客和社会。并做到人无我有,人有我优,人优我特、人特我精。以市场为营运导向、以质量为竞争前提、以人才为管理核心,持续双赢,用心服务;以优于国内、国际标准的厂控标准,满足顾客对产品实物质量的期望和需求。力求把产品做到,以自主创新的核心技术为基础的竞争战略为企业长期发展战略,整合产业链的各项优势资源,全心全意为生命科学服务!我们始终坚持:产品开发创新创先、质量管理精益求精。我们也始终坚信:态度决定一切,细节决定成败。
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