主要参数

	MPT-1LN/RL060	MPT-1LN/RL100	MPT-1LN/RL140
运动自由度	Z	Z	Z
行程范围（μ m±10%）	60	100	140
位移分辨率（nm）	6	10	14
重复定位精度（nm）	-/60	-/100	-/140
负载（Kg）	1	1	1
静电电容（uF±10%）	90	120	140
运动方向上刚度（N/μm±20%）	0.2	0.2	0.2
工作电压（V）	0～150	0～150	0～150
工作温度范围 (℃ )	-20 ～ 80	-20 ～ 80	-20 ～ 80
外形尺寸A（mm）	33	43	51
模型下载	IGS	IGS	IGS

开环工作台推荐匹配电源型号：HPV-3C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号：PPC-1CR0150

苏州迈客荣自动化技术有限公司专注于微纳精密自动化产品的研发和生产二十余年（公司前身为哈工大博实精密测控责任有限公司、苏州博实机器人技术有限公司），以哈工大机器人研究所、苏州大学相城机器人与智能装备研究院为技术依托，致力于为客户提供优质的技术支持与成套产品，是国内较早研究和生产微纳定位产品的公司，在国内众多高校和科研单位有着广泛应用，并为部分企业提供了产品工业应用解决方案，为客户创造价值，得到了客户的认可和信任。 主要产品有压电陶瓷致动器、多种构型的精密定位微动台、物镜驱动台，以及压电陶瓷驱动电源、精密定位控制器、LVDT测微仪等电控产品。产品主要应用于纳米制造与纳米自动化、显微与成像、生物科技与生命技术、超精密加工、半导体技术、光电子、通信与集成光学、航天、新药设计与医疗技术、数据存储技术等领域。