应用十七、氦质谱检漏仪用于 PECVD 镀膜设备检漏
德国Pfeiffer HLT 560 氦质谱检漏仪用于PECVD 镀膜设备检漏应用实例(福建的太阳能晶体矽电池制造公司)
一、镀膜设备检漏原因
福建的太阳能晶体矽电池制造公司, 专业生产太阳能单晶和多晶电池片. 该公司在生产过程中应用了PECVD沉积 Si3N3减反层, 4-5天设备需要保养一次(清洁MASK, 更换支架等等), 由于是清洁设备内部, 所以存在内部腔体密封性失效的可能. 如果镀膜设备密封性不好, 镀出来的产品膜厚会不均匀, 产品四周膜参数会不合格.
如果镀膜设备保养完成后, 能做一次检漏, 就可以避免很多不合格产品的产生, 达到节约生产成本的目的. 德国 Pfeiffer的HLT 560 氦质谱检漏仪具有操作简单, 反应灵敏的特点, 得到了客户的青睐.
二、镀膜设备检漏操作
示意图如下:
(1).将氦质谱检漏仪 HLT 560连接到泵组前的检漏口上.
(2).启动检漏仪, 检漏仪开始抽取密闭腔体中的气体,同时启动镀膜设备的泵组.
(3).在镀膜机内部的真空下降到一定程度的时候,如0.5 mbar以下的时候,拿氦气喷在怀疑有漏的地方,或者检查标准保养时动到的部位.这时需要有人观察检漏仪的漏率指示值的变化.当漏率上升或漏率值变化剧烈的时候,及时指出漏点所在位置,并做记号.
(4).所有可疑点都检测完成后,关闭检漏仪,停下镀膜机的泵组并将镀膜机打开,将检测出的漏点进行处理(如更换密封圈,清洁等等).处理完成后,再按照前叙步骤检查一遍,直到所有漏点都被清除,检漏过程完成.
免费会员
- 产品数量
61
- 经营模式
其他
- 反馈速度
24小时内
伯东公司成立于1953 年，范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司()主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。上海伯东作为国际真空品牌代理商，全权负责在中国地区的销售和维修服务，99% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。
免责声明：免责声明: 所展示的信息由会员自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布会员负责，百分零部件网对此不承担任何责任。百分零部件网不涉及用户间因交易而产生的法律关系及法律纠纷，纠纷由您自行协商解决。
友情提醒 ：本网站仅作为用户寻找交易对象，就货物和服务的交易进行协商，以及获取各类与贸易相关的服务信息的平台。为避免产生购买风险，建议您在购买相关产品前务必确认供应商资质及产品质量。过低的价格、夸张的描述、私人银行账户等都有可能是虚假信息，请采购商谨慎对待，谨防欺诈，对于任何付款行为请您慎重抉择！如您遇到欺诈等不诚信行为，请您立即与百分零部件网联系，如查证属实，百分零部件网会对该企业商铺做注销处理，但百分零部件网不对您因此造成的损失承担责任！
友情提醒 ：本网站仅作为用户寻找交易对象，就货物和服务的交易进行协商，以及获取各类与贸易相关的服务信息的平台。为避免产生购买风险，建议您在购买相关产品前务必确认供应商资质及产品质量。过低的价格、夸张的描述、私人银行账户等都有可能是虚假信息，请采购商谨慎对待，谨防欺诈，对于任何付款行为请您慎重抉择！如您遇到欺诈等不诚信行为，请您立即与百分零部件网联系，如查证属实，百分零部件网会对该企业商铺做注销处理，但百分零部件网不对您因此造成的损失承担责任！
网站客服
