• 产品名称：干式氦气检漏仪 UL1000 Fab
• 订货号：tlyon000292
• 品牌名称：美国INFICON

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干式氦气检漏仪 UL1000 Fab

ULTRATEST™ 传感器技术

稳定性和灵敏度的新疆界，

检漏低达 10 -12 atm/css

The INFICON UL1000 Fab 移动式氦气检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性，UL1000 Fab 在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。

通过结合较高氦气抽气能力和高进气口压力的真空结构，UL1000 Fab 提供的的泄漏率低达 < 5x10-12 atm cc/s。软件 I-CAL（智能泄漏率计算法）让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼，因为 UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。

使用额外的 TC1000 测试盒配件，UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试，如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管（根据 MIL-STD 883，方法 1014）。

功能

• 15 级的宽测量范围
• 较短的抽气和响应时间
• 移动式全金属外壳，增加了便利性，具有可操作性
• I-CAL 确保了在所有测量范围中提供的泄漏响应时间
• 抑零功能和自动积分时间校正，可提供快速、可靠的测试结果
• 含坚固耐用涡旋泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计，提供较高氦气抽气能力和高压缩比
• 旋转式显示器和用户界面允许简单、轻松控制装置以及与其进行交互
• 自保护功能可防止 UL1000 Fab 氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染
• 自动吹扫循环可确保清理并随时可进行测试
• 通过电子邮件进行软件更新
• 含两个灯丝离子源（3 年质保）的耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本
• 内部校准用的内置测试漏孔确保了精确的测试结果

典型应用

• 对半导体加工工具执行维护作业，无论是否具有自有泵支持
• 需要较高抽气能力、高灵敏度和清洁测试条件的应用
• 在现有工具中安装前对部件执行检漏
• 工艺气体系统的检查和安装
• 内置软件菜单“自动测漏”功能可使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试

规格

类型		Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
氦气（真空模式）可检漏率	mbar•L/s	<5E-12
氦气（真空模式）可检漏率	mbar•L/s	<5E-12
氦气（吸枪模式）可检漏率	mbar•L/s	5E-8
MASSIVE 模式进气口压力	mbar	1000
GROSS 模式进气口压力	mbar	15
FINE 模式进气口压力	mbar	2
ULTRA 模式进气口压力	mbar	0.4
抽真空期间的抽气能力	m³/h	> 30 at 50 Hz
抽真空期间的抽气能力	m³/h	> 30 at 50 Hz
GROSS 模式氦气抽气能力	L/s	max. 8
FINE 模式氦气抽气能力	L/s	7
ULTRA 模式氦气抽气能力	L/s	2.5
ULTRA 模式氦气抽气能力	L/s	2.5
可检测质量数		2,3,4 amu
质谱仪扇形场		180°
灯丝离子源铱/氧化钇涂层		2
内置校准漏孔	mbar•L/s	e-7
测试端口	DN 25 KF	1
可调触发器		2
接口		2 x USB, Ethernet / LAN
接口		2 x USB, Ethernet / LAN
图形记录器输出	V	2 x10
输入/输出		PLC compatible
输入/输出		Via I/O 1000 module
允许的环境温度（操作过程中）	°C	+10.....+40
保护类型		IP 20
重量
120
重量
120
重量
120
尺寸（长x宽x高）	mm	1050x472x987
尺寸（长x宽x高）
1050x472x987
电源电压	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
电源电压	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
电源电压	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
电源电压	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
功耗	VA	1100
功耗	VA	1100

零件号

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件号	明细
550-100A	ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug
550-101A	ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug

附件

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件号	明细
14005	SL200，UL1000/5000/Modul1000 用吸枪探头，4 米长
14022	RC1000 extension cable, 8 m
14090	LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
551-000	Toolbox, detachable,for UL1000
551-001	Helium Bottle Holder for UL1000/5000
551-002	ESD Mat for UL1000/5000
551-005	TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-010	遥控器 RC1000C，有线，带 4 米卷线
551-015	遥控器 RC1000WL，无线，包括无线发射机
551-020	RC1000WL 用无线发射机

回拉扬科技有限公司一直致力于提升中国实验室生产力水平，我们与众多国际骋国公司(品牌)，科研检测机构展开深庭合作，通过引进的仪器设备和服务，积极参与国内的食 品安全，产品质量控制，农产品检测市场建设，环境保护，公共安全等领域以及科研、高校的实验室采购项目，为国内外交流，实现客户、投资者多方共赢架设一座优秀的桥。从提供品质的实验室仪器、设备、耗材，到为客户度身定制系统的实验室整体解决方案，通过专业、细致和全面的技术支持服务实现“为客户创造更多价值”的承诺.。自成立以来，她终恪守“用户至上、诚信为本”的创业理念，以诚信的经营之道赢得客户的信任，以过硬的技术水平赢得客户的尊重和认可，在业内具有深远的影响力，逐渐成为实验室集成 商。众多世界五企业皆已成为人和的忠实客户。已然成为中国较大影响力的一站式仪器、耗材综合服务商。图拉扬公司提供专业、优质的实验室整体解决方案;助力中国农业绿色发展，专业农林科研仪器仪表研制、生产、销售、服务于一体。主要服务于各级各类农林科研、高校、园林、测绘及其他的农林类生产、服务、监督机构,9承推进中国生态环境改善、中国农业高效、绿色、健康发展的理念，致力于植物生理生态、林业、环境气急、土壤、种子等相关农林检测仪器的研发生产及销售。企业自创建以来，坚持走 科技研发，服务创新之路，与国内多个农科院校相继建立了产、学、研联合基地，引进多项技术，具备为科研机构提供试验仪器和为农林生产单位提供监测试验的整体解决方案及专业化 服务的能力自主研发(OEM）生产的值物光合仪、植物冠层测定仪、植物回像冠层分析仪、叶绿素测定仪、植物茎杆强度仪义、茎杆强度仪、树木生长锥等擅物生理仪器销往全国各地并远诊国外，在农业 科研领域得到了广泛的应用!图拉场公司一直与供应商保持良好的合作关系，不断引进行业各种优质的实验室产品。主要经营欧、美实验室仪器领域的品牌产品，如Accuris，Aidien，Bridge，BROOKFELD, BRUKER，BYK，JULABO，PerkinEmer，, Lovibond，TMI，SFT，GlLSON，MOHR，Cranosciences，Sensigent，OA,Copley，WTW，Fluid Analytics，ICA，SCS. TissueGnostics,Techne，Flx,Sherwood， Dummond，Girace，Benchmark，Prima，GARDCO，OalLland，eNose，VIiCAM，ntegra,Smiths，Shelb等上百个国际品 牌，产品涵盖计量仪器，实验室通用仪器，化学分析，物理测试，植物生理，生命科学，动物生理微生物等仪器，涉及到石化，赫细化工，制药，日化，食品，涂料，建材，电子，汽车，农 业等众多生产行业，以及高校，研究所等科研机构的实验室。展望未来，图拉扬公司将会引进更多优质的实验室产品，并将更多专业的应用技术渗透到日常服务中去，更便捷、更周到地满足客户需求。满足不同行业、不同应用、不同需求的用户是我们 孜孜以求的坐标和不断超越的动力!在未来激烈多变的市场竞争中，图拉扬将与客户一起携手并进，共创辉煌