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ULVAC NB罗茨泵系列NB300A
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  • 品牌
  • NB300A

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安捷来国际股份(香港)有限公司·更新于2024-01-04 08:59:30·49次访问
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  • ULVAC NB罗茨泵系列NB300A
  • 特长和用途
  • 技术参数表
  • 抽气速率曲线
  • 尺寸图

罗茨泵与油旋片真空泵、水环泵组合用,可在压力1.3×103~1.3×10-1Pa范围内提高抽气速率。NB系列罗茨泵是专为洁净度要求较高的场合而设计的。

特长
结净的真空

腔体内没有润滑油,对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
能在高吸入压强下运转
选用比标准电机容量大上等的电机,即可实现在高吸入压强下的运转。

用途
照明、电子、光学、半导体
镀膜、溅射、离子镀、液晶注入
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉
分析仪器、检漏设备,CO2激光设备

机 型
NB100A
NB300A
NB600A
NB1200A
项 目
抽气速率*3
m3/h(L/min)
50Hz
95(1580)
280(4670)
500(8330)
1000(16667)
60Hz
115(1920)
330(5500)
600(10000)
1200(20000)
*大吸入压力 Pa
(连续运转时)
50Hz
1.3×103
1.2×103
1.3×103
60Hz
1.3×103
9.3×102
1.1×103
*大允许压力差 Pa
(排出压力-吸入压力)
50Hz
8.0×103
4.0×103
7.3×103
60Hz
6.7×103
3.3×103
6.0×103
极限压力 Pa*1
4.0×101
6.7×101
标准粗抽泵
GLD-N280
VDN301
VDN401
VSN1501
VSN2401
VSN1501
VSN2401
电 机
kW (极) *2 *4
0.4(2)
0.75(2)
2.2(2)
3.7(2)
V-Hz
380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz
使 用 油
ULVOIL® R-4
所需油量 L
0.35
0.70
1.50
1.90
冷却水量 L/min*6
空 冷
2 *5
2
3
进水压力 MPa
0.3
进出水压差 MPa
0.05
0.1
重 量 kg
24
49
77.5
110
吸气口径 (JIS B 2290)
相当 VG50
相当 VG80
相当VG80
相当VG100
排气口径 (JIS B 2290)
相当VF50
相当VF80
相当VF80
相当VF80

*1 用皮拉尼真空计测量的值,如用麦氏真空计测量,则为4.0×10-2Pa(3.0×10-4Torr),而NB1200A则为6.7×10-2Pa(5.0×10-4Torr)。
*2 电源为AC380V、50Hz、三相。
*3 随粗抽泵的性能而变化,表中为标准泵的组合的数据。
*4 NB300A、NB600A、NB1200A可分别选购1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量电机。
*5 对于530Pa(4Torr)以下可用空冷,但530Pa(4Torr)以上进行连续运转必须用水冷。
*6 冷却水温为5~30℃。

ULVAC NB罗茨泵系列NB300A

ULVAC NB罗茨泵系列NB300A

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