一、可以测试的硅材料类型

图1-1 硅晶棒晶锭 图1-2 多晶硅片 图1-3 单晶硅片

图1-4普通硅片 图 1-4 硅块料

二、仪器配件选配方案

   硅材料电阻率、方阻测试方案选配核心的原则，一是要选择专门测试硅材料的钨针探头，耐磨性好，使

用时间长，二是要知道硅材料的电阻率范围，以便选配我公司合适的四探针测试仪。
   硅材料电阻率测试的方案选配分三个方面：探头的选配、仪器的选配、测试台的选配。任意三件套组成
可以构成不同特色的方案，或侧重价格、或侧重技术精度、或适用场合或综合考虑。

   2.1 探头的选配：由于硅材料是硬度高，表面一般较粗糙，甚至有影响测试的氧化层等，所以硅材料测试

探头选配原则是耐磨耐用，要有一定穿透性，推荐使用ST2253-F01型碳化钨针四探针探头。

如图2-1 

图 2-1 ST2253-F01 碳化钨针探头

   市场上也有钢针的，但是耐用寿命不如碳化钨针。我们苏州晶格只有钨针的。测试探头有台式的可以配合在任
意一款测试台上。图示为SZT-C型快速恒压四探针测试台，也有手持式的，适合手持式测试的。

图2-2 SZT-C测试台

2.2 四探针测试仪选配。

四探针测试仪选配的基本原则是材料电阻率或方阻的测试范围、测试精度，一般测试范围不算大的可
以选M-3手持式，如果范围测试大一点的可以选择台式的ST2258C，带PC软件的可以选择ST2253，如果想测
试精度更好，更准一点的可以选择双电测ST2263，这款也带电脑PC软件的。这三款可以自由选配，如下图
所示

M-3手持式四探针测试

测试范围、分辨率

  电  阻：  0.010Ω   ～  50.00kΩ,   分辨率0.001Ω ～ 10 Ω
 电 阻 率：  0.010Ω-cm ～ 20.00kΩ-cm， 分辨率0.001Ω ～ 10 Ω-cm
 方块电阻：  0.050Ω/□ ～ 100.00kΩ/□ 分辨率0.001Ω ～ 10 Ω/□

量程划分及误差等级

M-3手持式四探针仪器 如下图

     M-3手持式是款充电式,里面是五个量程的，直接拿在手上就可以进行测试了，在车间
或出差方便携带。

台式ST2258C四探针测试仪

测试范围、分辨率

  电   阻：10.0×10-6 ～ 200.0×10∧3Ω,   分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×10∧3  Ω
      （1.0×10-6 ～ 20.00×10∧3  Ω,    分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×10∧3 Ω）
  电 阻 率：10.0×10-6 ～ 200.0×10∧3 Ω-cm  分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×10∧3  Ω-cm
      （1.0×10-6 ～ 20.00×10∧3 Ω-cm   分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×10∧3 Ω-cm）
  方块电阻：50.0×10-6 ～ 900.0×10∧3 Ω/□  分辨率5.0×10-6 ～ 0.5×10∧3  Ω/□ 
     （5.0×10-6 ～ 100.0×10∧3 Ω/□   分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×10∧3  Ω/□）

量程划分及误差等级

台式ST2258C是款测试范围大一点，是八档宽量程的，手动/自动量程，带产品分类功能，比
M-3手持式多几个量程。不带电脑pc测试软件的，手工记录数据。

ST2258C

台式ST2253四探针测试仪

测试范围、分辨率

  电  阻：1×10-4～2×10∧5 Ω   ，  分辨率：1×10-5～1×10∧2 Ω
  电阻率：1×10-4～2×10∧5 Ω-cm，  分辨率：1×10-5～1×10∧2 Ω-cm
  方  阻：5×10-4～1×10∧6 Ω/□，  分辨率：5×10-5～1×10∧2 Ω/□
量程划分及误差

ST2253测试范围和ST2258C是一样的,也是八档宽量程的。但ST2253是带电脑PC软件的，能够
方便的记录数据和储存数据。

台式ST2263四探针测试仪

测试范围、分辨率

   电阻率：1×10-4～2×10∧5 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×10∧2 Ω-cm
   方  阻：5×10-4～1×10∧6 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×10∧2 Ω/□
   电  阻：1×10-5～2×10∧5 Ω   ，分辨率：1×10-6～1×10∧2 Ω

量程划分及误差等级

台式ST2263如下图 所示

台式ST2263这款是双电测的，误差小，测试更精准，带电脑PC软件

2.3 硅材料测试四探针测试台选配

   一般测试台可以选配我公司手动式的SZT-C，上下压力可以手动调节，SZT-A或电动SZT-B型的都
可以选择使用。

SZT-C SZT-A SZT-B

苏州晶格电子有限公司是一家集研发、生产、经销：电子测量仪器仪表的企业。主营产品：四探针测试仪系列、粉末电阻率测试仪系列、超高阻微电流测试仪系列、电阻表系列、交直流电压表电流表系列。可测各形态材料的电阻率、方块电阻、表面电阻、体电阻、接触电阻、电压电流等参数。公司位于苏州市吴中区新家工业园内，比邻吴中名胜石湖，近连苏州环城高速与友新高架，环境优美交通便利。主要产品：公司现有导体半导体材料电阻率方阻测试的四探针测试仪系列，可测固体、粉末、ITO涂层镀膜的电阻率、方阻参数，有测绝缘材料的超高阻微电流测试仪系列，有低频、视频、宽频、超高频各频段模拟式、数字式交流毫伏表系列（含真有效值），交直流数字式电压、电流、电阻多用表系列等系列等九大系列二百余种产品，并可按客户要求研制特种测量仪器。JG品牌系列产品，以其较高行业技术功能和的性价比，已得到越来越多客户的青睐。广泛应用于教学、科研、、生产制造等领域。研制开发：公司不仅配有成套、完备的研发硬件设备，更有一批专业研发人才队伍。采用以SOC单片机为核心的嵌入式系统技术实现的手动自动一体化测量仪器仪表，技术功能过硬，款式新颖，操作简便，是本公司产品时新的亮点。 “测量仪器仪表自动化，仪器仪表国产化”是公司当前务实的技术研发目标。 生产质量：产品质量是公司生存之根，我们的产品，内部结构电路，主要采用小型化，集成化电路及采用SMT贴片工艺、节能环保等技术手段。元器件的采购、装配，成品的调试、检测都有完善的质量管理保证体系。产品质量稳定可靠。营销服务：“产品是根，服务是本”。晶格电子始终本着“客户至上，诚信务实”的营销服务方针，我们承诺提供售前咨询、售中协调、售后维护等完善的服务。招商加盟：为了让更多的客户享用到晶格电子高品质高新价比的产品和服务，竭诚欢迎有品位有实力、有志从事仪器仪表营销的有识之士加盟晶格电子的营销队伍，高品质的产品和服务、广阔的市场，必将给我们的合作提供双赢的机会。晶格电子经营理念： 技术质量方针：“精益求晶，格故鼎新”营销服务方针：“客户至上，诚信务实”经营战略方针：“崇尚科技，以人为本”