Pfeiffer 高压质谱分析仪 HPA 220
上海伯东销售维修德国普发高压质谱分析仪 Pfeiffer HPA 220，可协助客户选型并提供售后服务。质谱分析仪新款上市，适合于所有的应用特别是高压应用。
德国普发高压质谱分析仪 Pfeiffer HPA 220 组成：
l 四级质谱分析仪
l 手动或自动控制进样阀门
l 分子泵 HiPace 80 和控制器 TC 110 RS
l 前级泵 MVP 020-3
l 标准真空腔体
l 全量程真空计 PKR 251
l 阀门控制单元 VCU 220
l 分子泵显示器
l 软体：Quadera + HPA Add-In
l 连接法兰 DN 40 CF-F
l 电源：115 – 230 V AC, 50/60 Hz
可选的附加组件：
1.腔体加热装置 2.分子泵控制单元 DCU 002 3.定制软体 4.其他全量程真空规
德国普发高压质谱分析仪 Pfeiffer HPA 220 优点：
l 此款质谱分析仪操作组装灵活，适用各种压力范围
l 简单的系统集成 模组式组装
l 高灵敏度 多路传输操作
l 操作直观 提供广泛的应用
德国普发高压质谱分析仪 Pfeiffer HPA 220 应用行业：
在一个压力范围内（1 x 10-7到50 hPa）进行过程分析、监控
1.真空镀膜行业 2.半导体行业 3.光刻行业 4.冶金行业 5.真空炉 6.实验研究
质谱分析仪 技术参数：
| 质量数（可选） | 1-100 amu | 1-200 amu | 1-300 amu | |||
| 质谱分析仪 | QMA 220 | |||||
| 前级泵 | MVP 020-3 | |||||
| 电源线长度（可选） | 3m | 10m | ||||
| 检测 | C-SEM/Faraday | |||||
| C-SEM 最小检测极限 | 1X10-14 hPa | |||||
| Faraday 最小检测极限 | 5X10-12 hPa | |||||
| 压缩空气 | 5-7 bar | |||||
| 进气法兰 | DN 40 CF-F | |||||
| 工作压力（可选） | 1 hPa | 8hpa | 50hpa | |||
| 四级杆直径/长度 | 6 mm/ 100 mm | |||||
| C-SEM 精度 | 200 A/hPa | |||||
| Faraday 精度 | 5X10-4 A/hPa | |||||
| 电源 | 115-230 V | |||||
| 重量 | 15 kg | |||||
质谱分析仪 尺寸图：
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