GSL-1100X-PJF-A是等离子枪和可控制的样品台结合在一起的产品，有自动控制的样品台，就可使等离子枪按设定程序对样品表面进行更均匀涂覆和处理，保证处理样品表面的*性和均匀性。此系统是由RF发生器、气体传输管、等离子枪头和X-Y移动的工作台（带有真空吸盘和控制盒）。此系统产生等离子束可在非真空和低温状态下活化和清洗样品表面，可处理的样品有单晶片，光学元件和塑料等，也可在常压下进行等离子增强气相沉积。

技术参数
主要参数	● 工作环境：温度 < 42°C，湿度 ≤ 40℃RH ● 输入电源：208 V- 240VAC, 50Hz, < 1000W ● 等离子体工作压力
RF发生器	● 输出频率：20-23kHz , 25KV ● 等离子枪头：仪器中包括两种等离子枪头：圆形头：10-12mm，矩形头：15-18mm ●
输入气体气压，工作气体	● 40 PSI min.(0.055 Mpa) ● Air, N2, Ar, He 或混合气体(不可通入易燃易爆气体 )
样品台和控制柜	● 配有可在X-Y轴移动的样品台，通过步进电机驱动，采用SBC控制盒控制 ● 可手动调节样品台在Z轴方向上的移动距离 ● 控制盒采用LCD显示，可设置其等离子枪头的扫描程序 ● 大扫描范围：8" x 9" ● 一个直径为4"的真空吸盘安装在X-Y样品台上，可吸住直径为6"的样品 ● 配有一真空泵，可与真空吸盘相连接 ● 整个系统安装在一移动架上（600x600x 800Lmm） ● 可选：可选加热样品台（MAX温度可加热到500℃),也可将设备放置在手套箱中操作 ●
外形尺寸	● 处理样品台尺寸：560mm L x483mm W x 609mm H ● 等离子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H ● 控制盒尺寸：330mm L x 305mm W x 152mm H
净重	55kg
认证	CE认证
质保期	● 一年保修，终身技术支持。 ● 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 ● 点击查看售后服务承诺书。
文献	● 请点击链接以了解更多关于AP-PECVD应用的信息：常压等离子体增强化学气相沉积（AP-PE-CVD）用于在低温下生长薄膜。

深圳市科晶智达科技有限公司2001年成立于深圳，是一家聚焦服务于高校、研究院所、企业研发部门的国家技术企业，长期致力于打造安全、高效、智能的实验研发一站式服务平台，为科学研究与产业孵化赋能。 深圳科晶与美国MTI、合肥科晶、沈阳科晶同属MTI-科晶联盟，目前已经搭建辐射的服务网络，精心为科学家们的实验室提供交钥匙工程解决方案。 深圳科晶创立初期主要为半导体、精密光学器件提供洁净存储和安全转移所使用的包装制品，产品包括各种塑料胶盒、膜盒、晶圆盒、海绵盒、花篮等。 公司2008年开始进行材料相关研发设备和锂电池实验设备的开发，经过十多年的积累深圳科晶现已成为新能源和新材料基础研究、小试与中试、测试与评估的整体解决方案规划者和提供者，产品应用涵盖了石墨烯材料、*陶瓷、*纳米材料、锂离子电池、超级电容器、燃料电池、固态电池、钙钛矿太阳能电池、功能薄膜等方向。 主要产品系列：按应用与工艺更新产品系列 ? 材料基础研究实验装备（包括混料、涂覆、镀膜、压制、烧结、切割、研磨、抛光、粉碎、制粉、造粒、熔炼等）； ? 电池研发实验制备装备（包括锂离子电池、固态电池、超级电容器、金属空气电池、钠离子电池、液流电池、太阳能电池等制备方案）； ? 电池安全测试装备（符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等国内标准等）； ? 锂离子电池中、小试生产制备全流程系统装备方案，交钥匙工程（包括扣式、柱状、软包、方形铝壳等各种全电池制备方案）； ? 燃料电池研发实验制备装备（包括固体氧化物、质子交换膜燃料电池等制备方案）； ? 钙钛矿太阳能电池研发实验制备； ? 功能薄膜研发实验设备（包括混料、涂布、辊压/复合、分切、复卷等）； ? 高通量材料基因组实验设备（包括配液、配粉、混合分散、压片、烧结、测试表征等）； 公司设立了开放的研发实验室和设备体验中心。对于锂电池行业，可实现公斤级别材料制备及电池研发，能接受上门小批量材料验证、定向工艺研究及小量成品电池制备等研发工作。 深圳科晶强大的研发团队支撑了丰富的产品链，针对现有产品具有知识产权的发明和实用新型共40多项（包含PCT和国内发明），并参与行业多项标准制定且获得多个行业协会认可。 本着“精诚合作、创新共赢”的宗旨，深圳科晶先后与清华大学、南开大学、上海交通大学、深圳大学、中航发航材院、溧阳天目湖研究院等十多个高校机构和企业签署产学研合作。与此同时，深圳科晶设立了对外服务的公共试验平台，承接科研人员参观交流与现场测试体验，配备行业的售前技术人员协助研究者充分了解相关工艺和设备，缩短调研考察与决策时间。该实验室平台也可以承接相关工艺试验服务和培训咨询服务，协助细分领域的科研工作者快速掌握产业工艺，从而专注前沿研发。 材料科学是基础科学。纵观人类科技的发展历史，新型材料的发现和应用将带来巨大的产业机遇，而*的实验装备和仪器是为科研和应用保驾护航的重要保障。科晶团队将一如既往秉承“客户为本，技术为导，诚信为基，积极创新”的运营理念 ，竭力为科学研究和科技发展做出贡献。