机床激光干涉仪sj6000集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。
在机床激光干涉仪sj6000动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
产品功能
（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；
（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
（6）支持手动或自动进行环境补偿。
软件特点
（1）友好的人机界面；
（2）丰富的应用功能模块；
（3）向导式的操作流程；
（4）简洁化的记录管理；
（5）支持中文、英文和俄文界面；
（6）支持企业专属模板定制。
激光干涉仪测量机床直角
如机器轴垂直度误差测量（数控机床、坐标测量机等），SJ6000激光干涉仪垂直度测量是通过比较直线度值从而确定两个标称正交坐标轴的非直角度，即在同一基准上对两个标称正交轴分别进行直线度的测量。然后对两个轴的直线度进行比较，得出两个轴的垂直度。共同的参考基准通常指的是两次测量时反射镜的光学准直轴，在两次测量过程中既不移动、也不调整，光学直角尺测量中，允许调整激光束与直线度的准直，而不动直线度反射镜。
典型情况下对于1.5米长的机器轴，像使用激光干涉仪这样的光学方法是好选择，因为传统的实物基准，如直角尺（金属或大理石等）的长度一般局限于1米的范围内。
激光干涉仪对数控机床进行螺距误差补偿
数控机床机械误差补偿包含记忆式相对位置补偿（jue对值）与记忆式螺距误差补偿（增量值）两种，三菱和法那科系统就是增量值补偿的代表之一。当采用激光干涉仪进行增量值补偿时，会遇到数据怎么对应补偿点位置的问题。
增量值补偿时有几个重要参数：
参考点：参考点也就是基准点。
zui负端：设定zui靠近负端的补偿数据编号。
zui正端：设定zui靠近正端的补偿数据编号。
补偿倍率：写入机床系统补偿量的生效倍率。
补偿间隔：机床补偿校准时的补偿间距。
部分技术规格
| 稳频精度 | 0.05ppm |
| 动态采集频率 | 50 kHz |
| 预热时间 | ≤ 6分钟 |
| 工作温度范围 | (0~40)℃ |
| 存储温度范围 | (-20~70)℃ |
| 环境湿度 | (0~95)%RH |
| 线性测量距离 | (0~80)m (无需远距离线性附件) |
| 线性测量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度轴向量程 | (0~15)m |
| 角度测量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
| 平面度轴向量程 | (0~15)m |
| 平面度测量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m) |
| 直线度轴向量程 | 短距离(0.1~4.0)m;长距离(1.0~20.0)m |
| 直线度测量精度 | 短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 垂直度轴向量程 | 短距离(0.1～3.0)m;长距离(1.0～15.0)m |
| 垂直度测量精度 | 短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组
平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可
短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组
长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组
直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量
恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。
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