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UL1000Fab干式氦气检漏仪
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深圳市万德泉科技有限公司·更新于2024-01-12 13:00:43·74次访问
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干式氦气检漏仪 UL1000 Fab

ULTRATEST™ 传感器技术

稳定性和灵敏度的新疆界,

检漏低达 10 -12 atm/css

The INFICON UL1000 Fab 移动式氦气检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性,UL1000 Fab 在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。

通过结合较高氦气抽气能力和高进气口压力的真空结构,UL1000 Fab 提供的的泄漏率低达 < 5x10-12 atm cc/s。专利软件 I-CAL(智能泄漏率计算法)让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼,因为 UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。

使用额外的 TC1000 测试盒配件,UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试,如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管(根据 MIL-STD 883,方法 1014)。


功能

  • 15 级的宽测量范围
  • 较短的抽气和响应时间
  • 移动式全金属外壳,增加了便利性,具有可操作性
  • I-CAL 确保了在所有测量范围中提供的泄漏响应时间
  • 抑零功能和自动积分时间校正,可提供快速、可靠的测试结果
  • 含坚固耐用涡旋泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计,提供较高氦气抽气能力和高压缩比
  • 旋转式显示器和用户界面允许简单、轻松控制装置以及与其进行交互
  • 自保护功能可防止 UL1000 Fab 氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染
  • 自动吹扫循环可确保清理并随时可进行测试
  • 通过电子邮件进行软件更新
  • 含两个灯丝离子源(3 年质保)的耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本
  • 内部校准用的内置测试漏孔确保了精确的测试结果

典型应用

  • 对半导体加工工具执行维护作业,无论是否具有自有泵支持
  • 需要较高抽气能力、高灵敏度和清洁测试条件的应用
  • 在现有工具中安装前对部件执行检漏
  • 工艺气体系统的检查和安装
  • 内置软件菜单“自动测漏”功能可使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试

零件号

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件号 明细
550-100A ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug
550-101A ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug

规格

类型 Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
氦气(真空模式)可检漏率 mbar•L/s <5E-12
氦气(真空模式)可检漏率 mbar•L/s <5E-12
氦气(吸枪模式)可检漏率 mbar•L/s 8E-8
GROSS 模式进气口压力 mbar 15
FINE 模式进气口压力 mbar 2
ULTRA 模式进气口压力 mbar 0.4
抽真空期间的抽气能力 m³/h 25 at 50 Hz
GROSS 模式氦气抽气能力 L/s max. 8
FINE 模式氦气抽气能力 L/s 7
ULTRA 模式氦气抽气能力 L/s 2.5
可检测质量数 2,3,4 amu
质谱仪扇形场 180°
灯丝离子源铱/氧化钇涂层 2
内置校准漏孔 mbar•L/s e-7
测试端口 DN 25 KF 1
可调触发器 2
接口 RS 232
图形记录器输出 V 2 x10
输入/输出 PLC compatible
允许的环境温度(操作过程中) °C +10.....+40
保护类型 IP 20
重量 kglb. 110
尺寸(长x宽x高) mmin. 1068x525x850
电源电压 V (ac) 230 (+-10% )50Hz
电源电压 V (ac) 230 (+-10% )50Hz
电源电压 V (ac) 230 (+-10% )50Hz
功耗 VA 1100
深圳市万德泉科技有限公司是一家集真空技术开发、应用与贸易于一体的专业公司。产品广泛运用于真空行业、镀膜、太阳能、半导体、科学研究、电力行业、航空航天、制造等领域。作为多家的真空设备及真空仪器供应商的代理商,我们可以为客户提供的全套真空解决方案,解决客户真空应用的难题,并且使客户的成本降到。我们代理销售的产品如下:瑞士Inficon (英福康)膜厚控制仪及探头、石英晶振片、真空计、检漏仪、残余气体分析仪、真空阀门、真空连接件。美国Agilent(安捷伦,原瓦里安)涡旋式干泵、分子泵、氦质谱检漏仪。英国Edwards (爱德华)旋片泵、涡旋干式泵、分子泵、真空规管。瑞士VAT插板阀、闸阀、蝶阀、角阀等全系列真空阀门。 日本Hitachi Metals(原Aera)质量流量控制器。美国MKS质量流量控制器。美国SRS 四级质谱残余气体分析仪。美国Keyhigh 陶瓷压电阀。韩国ONE C TECH低温冷肼、压缩机和冷媒销售美国Angstromsciences磁控溅射阴极、靶材、反应气体控制器。我们能提供维修业务的产品包括:MDC-360C/IC5/XTC2/SQC310/IC6/XTC3/等膜厚控制仪维修、inficon真空计维修,Edwards真空泵维修、inficon检漏仪维修、AERA流量计维修。
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