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RGA系列残余气体分析仪
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深圳市万德泉科技有限公司·更新于2024-01-20 09:15:13·59次访问
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100,200和300amu

优于1amu的分辨率

5*10e-14 Torr探测极限

含四极探头,电子控制单元(ECU)

实时window视窗 软件包,用于数据采集和分析,以及探针控制

RS232接口


SRS的残余气体分析仪提供的性能和价值。 这些RGA是同类产品中价格的一半。 每个RGA的系统有完成一个四极探头,电子控制单元(ECU),以及实时window视窗 软件包,用于数据采集和分析,以及探针控制。

坚固的探头设计

探头由一个离子发生器,四极杆质量过滤器和检测器。 简单的设计有一个小的部件数目减少气体释放,降低了您的真空系统中引入杂质的机会。 探头大会崎岖到一个标准的2.75英寸的CF卡法兰坐骑。 它是覆盖着不锈钢管与电离化的要求只有2英寸半的清理您的真空系统的异常,大约是一个标准的离子规。 探头设计采用自动调心,因此可以很容易地清洗后重新组装零件。
紧凑型电子控制单元

用于控制的RGA头所有必需的电子元件。 它是由外部+24 VDC的要么是(2.5)电源供应器或一个可选,内置电源模块,插入交流电源插座的插头。 LED指示灯,提供有关电子倍增器,长丝,电子系统和探头状态的即时反馈。 欧洲货币单位可以很容易地删除从高温bakeouts探头。
的灯丝设计
长寿命,双涂钍铱(芹苴2 / IR)的长丝用于电子发射。 双寿2 /铱丝持续更长的时间比单丝,限度地更换灯丝之间的时间。 不像其他的设计,SRS的细丝可以取代在几分钟之内的用户。

电子倍增器
法拉第杯探测器系统的标准与SRS RGA的,允许从10 -5分压测量,以5 × 10 -11托。 为了提高灵敏度和更快的扫描速率,可选的电子倍增器是所提供的检测分压下降到5 × 10 -14托。 这个国家的的宏观多通道连续打拿极电子倍增器(CDEM)提供了更高的寿命和稳定性,也可以由用户一个个RGA更换!
实用功能

所有的RGA有一个内置的脱气功能。 利用电子碰撞解吸,离子源是清洗,大大减少了静电消除器的背景噪声的贡献。
一个固件驱动的灯丝保护功能的不断监视(675赫兹)以上的压力。 如果检测到过压,灯丝会立即关闭,保留其寿命。
一个的温度补偿,对数静电检测10 -15 -7到10安培的电流从一个单离子扫描精度优于2%。 这个巨大的动态范围意味着你可以利用小型和大型气体浓度测量同时进行。
完成可编程
与计算机通信是由通过RS-232接口。模拟和直方图(条)扫描,泄漏检测和探头参数控制和监测都通过高层次的命令集。 这使得易于集成到现有的方案。
RGA的Windows软件
支持的RGA系统与实时视窗 软件运行在PC上。 直观的图形用户界面允许测量,作出迅速和容易。 该方案是互动,让用户对图形显示的控制。 屏幕可以为双模式操作分割,规模可以设置为线性或日志格式,数据可以手动或自动缩放。 数据捕获和实时显示或收购安排在长期测井资料给定的时间间隔。 其功能包括用户可选的单位(托,毫巴,扒和A),可编程的音频和视觉警报和全面的在线帮助。
该软件还允许完成RGA的大规模调整,方便,灵敏度校准,电离设置和电子倍增器增益调节头部控制。 进一步分析,数据文件可以以ASCII格式保存到电子表格更容易转移。 图形图像可以被保存为元文件或复制到剪贴簿,直接导入到其他Windows 方案。 该软件还提供了锁定了头参数,使普通用户无法改变重要设置密码保护。 一个LabVIEW的dirver也可在网站的SRS。 一个可选的独立显示器( PPM100 )可以用来控制电脑主机的RGA没有。
多头操作
该软件支持多种操作时头部多个RGA的需要。 多达八个欧洲货币单位,可以从软件监控。
性能和价值
该家族是个RGA的SRS涉及气体分析,泄漏检测,真空处理应用的理想选择。 我们提供,200和300,100RGA系统,支持Windows的软件和选项,其中包括一个电子倍增器和一个内置电源模块,AC线运行。

产品规格:
操作

质量范围
RGA100 1 to 100 amu
RGA200 1 to 200 amu
RGA300 1 to 300 amu
质量滤波器类型 四极杆
探测器类型 法拉第杯(FC)—标准,电子倍增器 (EM)—可选
分辨率 Better than 0.5 amu @ 10 % peak height (per AVS std. 2.3).
灵敏度(A/Torr) 2 × 10-4 (FC), <200 (EM). User adjustable throughout high voltage range. Measured with N2 @ 28 amu with 1 amu full peak width, 10 % height, 70 eV electron energy, 12 eV ion energy, and 1 mA electron emission current.
最小可检测分压 5 × 10-11 Torr (FC). 5 × 10-14 Torr (EM). Measured with N2 @ 28 amu with 1 amu full peak width, 10 % height, 70 eV electron energy , 12 eV ion energy, and 1 mA electron emission current.
工作压力 10-4 Torr to UHV (FC)
10-6 Torr to UHV (EM)
工作温度 70 °C
焙烤温度 300 °C (without ECU)
电离源
布局 Open ion source, cylindrical symmetry, electron impact ionization.
材料 SS304 构造
灯丝 Thoriated-iridium (dual) with firmware protection. Built-in 1 to 10 W degas ramp-up. Field replaceable.
电子能量 25 to 105 V, programmable
离子能量 8 or 12 V, programmable
聚焦电压 0 to 150 V, programmable
电子发射电流 0 to 3.5 mA, programmable
一般
探头尺寸 8.75" from flange face to top of ionizer
探头直径 2.0"
探头法兰尺寸 2.75" CF
最小管径 1.375"
ECU尺寸 3.1" × 4.1" × 9.1" (WHD). Easily separated from the probe for bakeout.
LED指示灯 Power ON/OFF, filament ON/OFF,degas ON/OFF, electron multiplierON/OFF, RS-232 Busy, Error,Overpressur,ility ±0.1 amu after 30 minutes
电脑接口 RS-232C, baud with highlevel command set
软件 Windows based application
电源要求 24 VDC @ 2.5 amps, male DB9 connector, optional built-in power module for AC line operation
重量 6 lbs.
保修 一年(由产品质量和工艺问题引起)

深圳市万德泉科技有限公司是一家集真空技术开发、应用与贸易于一体的专业公司。产品广泛运用于真空行业、镀膜、太阳能、半导体、科学研究、电力行业、航空航天、制造等领域。作为多家的真空设备及真空仪器供应商的代理商,我们可以为客户提供的全套真空解决方案,解决客户真空应用的难题,并且使客户的成本降到。我们代理销售的产品如下:瑞士Inficon (英福康)膜厚控制仪及探头、石英晶振片、真空计、检漏仪、残余气体分析仪、真空阀门、真空连接件。美国Agilent(安捷伦,原瓦里安)涡旋式干泵、分子泵、氦质谱检漏仪。英国Edwards (爱德华)旋片泵、涡旋干式泵、分子泵、真空规管。瑞士VAT插板阀、闸阀、蝶阀、角阀等全系列真空阀门。 日本Hitachi Metals(原Aera)质量流量控制器。美国MKS质量流量控制器。美国SRS 四级质谱残余气体分析仪。美国Keyhigh 陶瓷压电阀。韩国ONE C TECH低温冷肼、压缩机和冷媒销售美国Angstromsciences磁控溅射阴极、靶材、反应气体控制器。我们能提供维修业务的产品包括:MDC-360C/IC5/XTC2/SQC310/IC6/XTC3/等膜厚控制仪维修、inficon真空计维修,Edwards真空泵维修、inficon检漏仪维修、AERA流量计维修。
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