THz F-P干涉仪的结构是由两片半透明高电阻率的硅平面组成，其中一片安装在电机驱动线形驱动器上，与常规的平面窗镜相比，具有更好的平整度和平行度，精度更高。THz辐射参数的测量通过可移动镜片的平移（扫描）来实现。THz Fabry-Perot Etalon干涉仪（THz F-P）的主要作用是测量窄带THz辐射的波长和强度，THz波的类型可以脉冲活连续窄带。
一套完整的THz F-P干涉仪包括以下部分：TFPE干涉仪单元，供电和控制单元，镜片位移控制软件，连接线，使用说明
THz F-P干涉仪可以用于以下源的测量：
差频THz产生器
混频THz产生器
新型THz辐射源
振动陀螺仪
光学泵浦亚毫米波激光器
反响波振荡器
自由电子激光器
量子级联激光器
p-Ge激光器
THz F-P干涉仪还可以用于测量宽带THz源的波长和强度，每个F-P干涉仪透过光谱过滤THz辐射 TFPE支持很多镜片移动模式，例如移动到位置，移动到举例，连续和周期移动。镜片移动速度，移动间隔，开始和结束位置等都可调。
基本参数：
| 类型 | THz Fabry-Pérot Etalon |
| 材质 | HRFZ-Si |
| 直径 | 25.4-150 mm |
| 通光孔径 | ≥90% |
THz F-P干涉仪参数：
| 参数 | 值 |
| 工作频率范围 | 0.1-15 THz |
| 自由光谱范围 | 0.01-1.8 THz |
| 镜片间距 | 0-9.5μm |
| 间距设置精度 | ±1.25μm |
| 光学轴高度 | 110mm |
| 口径 | 52mm |
| 尺寸（L×H×W） | 232×151×120 |
| 重量 | 5.0Kg |
主要特点：
大口径52mm
高镜片位置精度±1.25μm
宽工作范围0.1-15THz
高击穿阈值
THz F-P干涉仪的以下附件需要单独购买：
光声Golay探测器GC-1P/T/D
BPF（带通滤波片）在0.1-15THz之间波长
LPF（短波通滤光片）滤除IR辐射，截止频率为23.4THz，23.3THz，23.1THz，14.3THz，10.9THz，8.8THz，5.5THz，4.3THz，4THz，3.2THz。
一套衰减器具有1%，3%，10%，30%透过率
TPX和HRFZ-Si透镜
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