纯水及超纯水设备工艺有预处理,脱盐处理,深度脱盐及精处理工序组成,满足各行业对生产用水的水质要求
1、预处理
根据源水的水质情况预处理由加药系统、石英砂过滤器、活性炭过滤器、超滤等,有效去除的细小颗粒、悬浮物、胶体,有机物等杂质,从而保证后续反渗透系统的长期稳定运行。
2、脱盐处理
反渗透(以下简称RO)是近20年来广泛应用的水处理技术,有效去除水中的溶解性盐类及有机物使水质纯净,根据源水的水质及纯水的水质要求一般由一级反渗透或二级反渗透组成
3、深度脱盐
深度脱盐采用EDI或混合床,进一步去除反渗透出水的残余微量的溶解性盐类满足与半导体、芯片、光伏、医药、微电子等行业对生产工艺用水的水质要求
4、精处理
精处理由抛光混床、精密过滤与紫外线杀菌等组成,满足与半导体、芯片、光伏、医药、微电子等行业对生产工艺用水的水质要求