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Bruker ContourGT-X白光干涉仪
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北京亚科晨旭科技有限公司·更新于2024-02-13 11:05:04·40次访问
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【产品简介】
 
ContourGT-X 是实验室研发和工业生产均可适用的高性能仪器。它积累了代产品在白光干涉技术上的创新,实现了快速地三维表面测量,从纳米级表面粗糙度测量到毫米级台阶的测量,垂直分辨率可达亚纳米级。可编程的 XYZ 控制和的扫描头自动控制,使得仪器测试空间极大的拓展,多种自动化功能,使操作使用简便易行。配备的 Vision64 软件,具有业界的数据分析功能,其优化设计的用户界面为使用者自行定义测量和数据分析提供了极大的便利。内部激光自校准技术可以自动校准因环境或机械不稳定产生的漂移,无需标准块,减少使用成本保证测试的精准度。
 
【主要应用】
 
1、 用于较大范围的样品表面形貌、粗糙度、三维轮廓等特性的快速测量;
2、 广泛应用于半导体材料表面粗糙度、陶瓷基板的翘曲度、激光刻蚀痕迹、BUMP 三维结构、MEMS 器件关键尺寸、TSV 孔尺寸和精密机械加工部件等领域的测量。
 
【主要参数】
 

垂直量程

0.1nm 至 10mm(闭环无拼接)

垂直分辨率

0.01nm

电动样品台移动范围

±200mm (XY 轴 )/100mm(Z 轴 ),XYZ 三轴自动

横向取样间隔

0.1µm 至 13.2µm ( 由配备的 FOV 目镜和干涉物镜倍数决定 )

光学横向分辨率

350nm

台阶测试精度

0.75%

台阶重复性

<0.1% 1σ

倾斜调整

自动镜头调节 ± 6°

垂直扫描速度

117um / 秒,用户可自行设定

机器校准方式

激光自校准(可选)

聚焦功能

镜头自动聚焦,自动调节干涉条纹光强

 

亚科电子(包括亚科电子(香港)有限公司、北京亚科晨旭科技有限公司等)成立于1998年,公司自成立以来就一直专注于半导体、微组装和电子装配等领域的设备集成和技术服务;目前公司拥有一支在半导体制造、微组装及电子装配等领域经验丰富的专业技术团队,专业服务于混合电路、光电模块、MEMS、封装(TSV、Fan-out等)、化合物半导体、微波器件、功率器件、红外探测、声波器件、集成电路、分立器件、微纳等领域。我们不仅能为客户提供整套性能可靠的设备,还能根据客户的实际生产需求制订可行的工艺技术方案。  目前亚科电子已与众多国际微电子封装和半导体制造设备企业建立了良好的合作关系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),为向客户提供的设备和专业的技术服务打下了坚实基础。   亚科电子目前客户遍及国内所有科研院所、高校和研发制造企业,已成功地服务于等各研究所;清华大学、北京大学、复旦大学等各大高校;三安集成、华润微电子等多个制造企业。   亚科电子历年来秉承“专业服务,全面服务”的宗旨,为客户提供整套技术工艺和设备方案。通过专业的技术服务,实现了真正意义上的交钥匙工程。高性能的设备和专业的技术服务是我们成功的基石,亚科电子期待与更多国内外客户的合作。
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