XP-703D半导体特气检漏仪|日本新宇宙XP-703D半导体特气检漏仪产品特点：
检测对象气体：胂、膦、、硅烷、氢气等
性能参数
* 于检测半导体特气的微量泄漏
* 采用声光报警
XP-703D半导体特气检漏仪|日本新宇宙XP-703D半导体特气检漏仪参数资料：

型号	XP-703D
检测对象气体	半导体材料气体（胂、膦、、硅烷、氢气等）
检测原理	热线型半导体式
采样方式	自动吸引式
可检测浓度 （单位：ppm）	砷烷　　磷烷　　　　硅烷　　氢气
	AsH3　　　PH3　　　B2H6　　　SiH4　　H2
	0.2　　　0.3　　　0.1　　　0.5　　1.0
检测表示	蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度	10秒以内

钳形电流表

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