| 产品简介： Ø MarSurf UD 130 通过两个驱动单元解决方案 MarSurf LD 130 / LD 260 和新标准组合测量站 MarSurf VD 140 / 280 之间的空白。 Ø MarSurf UD 130 的技术规格是以高质量的干涉测头系统为基础，测量和定位速度快，可以减少每个工件的测量时间。 产品特点： Ø 一步完成粗糙度和轮廓测量 Ø 高测量和定位速度可大幅减少测量时间 Ø 创新的测头系统解决方案 Ø 快速可靠的测杆更换，磁性支架同步检测测杆 | ||||
产品参数： Ø 定位速度：0.1 mm/s至30 mm/s Ø 扫描长度末尾（X 方向）：130 mm Ø 测量速度：0.1 mm/s 至 5 mm/s；用于粗糙度测量，建议 0.1 mm/s 至 0.5 mm/s Ø 分辨率：2 nm Ø 测头：标准测头LP-D 14-10-2/60度 Ø 测量范围 mm：10 mm（100 mm测杆）；20 mm（200 mm测杆） Ø 轮廓分辨率：2 nm Ø 扫描长度：0.1 mm至130 mm Ø 测量力 (N)：1 mN 至30 mN，可软件调整 |
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