编号	项目	技术参数
1	机台整机规格	1900mm(W)×1300mm(D)×1900mm（H）
2	真空室规格	进口合金铝 1300(W)×1000(H)×1350(D)   mm
3	电极板规格	13层平板式电极板（870mm×610mm）
4	控制系统	PC工控系统+PLC自动控制
5	真空测定系统	皮拉尼电阻式真空计
6	气体计量系统	精确质量流量控制计 MFC
7	气体路数	2—5路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2
8	等离子发生器	10KW等离子体发生源（40KHz，可选13.56MHz）
9	工作气体	2路工作气体可选：Ar2、N2、H2、O2
特 点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。
用 途：适用于印制线路板行业，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。
1、印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污，软板、软硬结合板表面清洁、去钻污，软板补强前活化。  2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗  3、硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化

奥坤鑫科技有限公司于2009年成立，是专注于等离子体表面处理设备的高科技技术企业。 2010年成立昆山公司，立足华东，成立OKsun在长三角的销售和代加工中心。2010年10月和其他科研机构合作在苏州成立等离子体科技与应用研发中心，与江苏多所大学合作，就等离子体科技做深入科研及工业应用研究，成为拥有独立自主等离子体研发能力的优秀企业。 OKsun品牌目前已经拥有中频、射频等多款等离子处理机型，性能优良，性价比;处理方式有水平、垂直、卷式RTR、转鼓等真空等离子处理设备;另外还具有常压(大气)喷射式、大气准辉光式、隧道式、水平线等多种常压等离子处理设备。 OKsun品牌等离子体表面处理设备广泛应用于PCB制造、电子电路、电子电器、汽车制造、半导体制造、包装、印刷、涂覆、高分子材料、塑胶五金、、灭菌等行业，目前已经成为真空等离子体处理设备优秀生产企业，产品面涉及极为广泛。 我们倡导技术创新，以满足客户的个性化需求为已任，为客户提供与等离子处理系统相关的技术支持服务，致力于成为的者!