超测试™传感器 技术

 专为满足半导体应用中的泄漏检查需求而设计。

 它具有灵活性、移动性、快速启动、高灵敏度、快速精确的测试结果和可靠性。

 UL3000 FAB ULTRA 型号的突出优势

 由于更高的空气泵送速度，抽空（抽真空）时间更快。

由于罗茨粗加工泵的维护成本低，总拥有成本 （TCO） 更低。

作为 HYDRO·S 软件消除了水蒸气背景，可以快速达到敏感的测量范围

UL3000 Fab ULTRA 还通过使用久经考验的嗅探器系列 SL3000（长度可达 10 米）提高了嗅探器功能。SL3000具有单独的连接端口，因此无需连接到真空入口。

两种型号均具有

 快速获得结果

 改进的真空系统具有低维护真空泵，可以从大气压开始检测泄漏。坚固耐用的质谱仪系统可确保较长的运行时间和较低的维护成本。

 可旋转显示屏和远程可控用户界面

 新的触摸屏显示器甚至可以从很远的距离显示测试结果和状态信息。通过用户引导的菜单结构轻松操作，即使对于没有经验的操作员也是如此。UL3000 Fab （ULTRA） 可通过智能手机或平板电脑进行无线控制 - 无需特殊软件或应用程序。通过按钮记录和存储测试结果可以传输到其他存储介质进行进一步分析。

 超薄设计，具有的可操作性

 UL3000 Fab （ULTRA） 的重心低、车轮大、符合人体工程学设计的手柄和纤薄的外壳，即使在狭小的空间内也能实现 UL3000 Fab （ULTRA） 的良好移动性。

好处

• 利用 I·CAL 软件算法节省时间，可在 10-9 至 ^10-12 mbar·l/s 的范围内进行快速测量

• 使用I·ZERO 2.0进行的泄漏检查，具有改进的智能功能，可在保持高测量灵敏度的同时实现快速背景抑制

• 适用于真空和嗅探器泄漏搜索

• 通过快速疏散和响应时间限度地减少泄漏检查工作

• 通过纤薄设计实现轻松的可操作性，从而节省时间

• 通过强大的离子源（3 年保修）和逆流真空系统实现低总拥有成本 （TCO）

• 易于使用、操作员引导的 HMI，带全彩色高分辨率可旋转显示屏

• UL3000 超超制造：作为 HYDRO·S 软件消除了水蒸气背景，可以快速达到敏感的测量范围

• UL3000 Fab ULTRA：由于罗茨泵的空气泵送速度较高，抽空（抽真空）时间更快

• UL3000 Fab ULTRA：由于罗茨粗加工泵的维护成本低，因此降低了总拥有成本（TCO）。

• UL3000 Fab ULTRA：检漏仪还通过使用久经考验的嗅探器系列 SL3000（长度可达 10 米）提高了嗅探器功能。SL3000具有单独的连接端口，因此无需连接到真空入口。

典型应用

• 半导体晶圆厂

• 平板显示器制造

• 太阳能电池制造

• 玻璃和卷筒纸（卷对卷）涂层

• 一般真空镀膜和应用