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NSK精机精品｜一“气”呵成，解锁空气主轴的精密之道
随着5G通信、物联网、人工智能等新兴技术快速发展，半导体产业持续迈向高精度、高效率制造，对加工设备的性能提出了更高要求。作为先进精密制造的重要核心部件，空气主轴以高压空气为动力源，实现无接触、低摩擦、高速旋转，为超高精密加工提供稳定可靠的动力支持。
凭借高精度、高刚性、高转速及长寿命等优异性能，空气主轴的应用领域正不断拓展，已逐步应用于晶圆减薄设备、划片机、超高精密机床等前沿制造领域，助力科技创新与产业升级。
空气主轴的组成：高精度气浮轴承、直驱电机和旋转编码器
气浮轴承：通过空气形成无摩擦气膜，大幅降低机械磨损与发热，有利于稳定性和精度的保持。
直驱电机驱动主轴旋转，省去传统机械结构，提高传输效率以及主轴控制精度。
旋转编码器：实时监测并反馈主轴转速、位置等参数，利用先进算法与控制技术实现主轴的精细调控。
压缩空气通过给气槽扩散至多孔质内，与固体润滑剂结合，形成无接触气膜。
▲空气轴承结构
NSK空气主轴特点
高刚性：轴向刚性最高可实现1400N/μm
高转速：GBK240最高可实现6000rpm
轴向&径向跳动：可实现1μm以内
长寿命：采用高压缩空气，无接触、低摩擦、可实现超长使用寿命
低空气消耗流量：采用滑动性能良好的多孔质石墨轴承材料，减少烧结，提高高精度加工时的稳定性
长寿命高旋转精度（NRRO：μm p-p）：0.05
空气轴承结构以及和传统轴承的对比
通过和传统轴承的对比可以看出，空气轴承在跳动、回转消耗以及刚性、负载容量和寿命等方面具备压倒性的优势。
应 用 行 业
半导体设备
减薄机，晶圆检测，抛光机，划片机，倒角机，封装设备
高转速精密加工设备
精密车床，玻璃镜头研磨设备，高精度单点磨床
信息设备制造装置
磁盘检查装置，磁头检查装置伺服轨道写入器，激光扫描仪
精密测量设备
高精度测量仪等
NSK产品范围
☑︎GBK180R~GBK320R 法兰盘角形、圆形等标准型号均可对应。
☑︎特殊用途空气主轴，可根据客户工况进行商讨定制，详细参数请与NSK联络。
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