燃烧式Scrubber特气尾气处理装置

一．主要特点

1. 独立燃烧方式，燃烧之火焰涡流：可燃性毒性气体从低浓度至99%浓度均可用高温处理；

2. SiH4与NF3、NO2同时燃烧：SiH4与NF3、NO2可以同时于燃烧室中一起 燃烧；

3. 基本功能之安全设计：异常情况发生时，诊断机能会自动安全处理；

4. 使用刮刀方式，粉尘处理容易：燃烧室内部之附着粉尘，可使用独立之刮刀容易且确实地清除；

5. H2、LPG、天然瓦斯(LPG)各种型式：燃料气体可使用H2、LPG、天然瓦斯(LPG)3 种型式；

6. 保养简单：保养可在极短的时间内完成，费用也低廉；

7. 高信赖性：构造简单且零件数少，值得高度信赖。

二．燃烧式Scrubber特气尾气处理装置处理气体种类

可处理气体种类包括半导体、液晶以及太阳能等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中使用的特气，主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。

三．燃烧式Scrubber特气尾气处理装置处理原理

1. 冷却空气之一部份在燃烧室内形成火焰涡流，制程气体会卷入燃烧；

2. Guardian之火焰涡流可将SiH4等气体，破坏其气泡产生；

3. 冷却空气在机台内部循环，燃烧室外部使用空气冷却。并可使排气温度冷却下降，而且可将燃烧后之氧化物排出等多样功能；

4. 热电对之安全装置，可监视燃烧室温度、排气温度、Process Gas导入管温度。另外Photo sensor可监视熄火，差压计可检视排气风量。