台阶仪
台阶仪集合了共焦光学形貌仪,WLI白光干涉形貌仪,原子力显微镜,接触和非接触式双模式表面形貌检测。
项 目 简 述 | 参数说明 |
1.共焦 | 可快速垂直扫描的旋转共焦技术。 使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150倍) 全视野3D镜头,用以表征坡度分析 (超大斜率<干涉测量>: 72° vs 44°) 。 具有光学形貌上超高的横向分辨率,附有5百万自动分辨率的CCD相机, 空间下样可调至0.05um,是表面特征以及形貌的测量的理想配置。 在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制 应用于透明层/薄膜。 兼容亮视野&暗视野; 光学DIC。 长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。 高稳定性。
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2.干涉仪(WLI) | |
3.原子力显微镜 | 探针扫描可用于大型模板 X、Y、Z三向可达原子级分辨率 大压电探针扫描XY: 达到 110x110um
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4.变焦 | |