半导体流量控制器(Mass Flow Controller)是基于业内的流量传感器芯片，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款更紧凑的气体质量流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等，超高的集成度使该产品能够缩小一半体积，可以更好的适用于空间要求严格的安装场所。
 

　　产品应用于：半导体加工、分析和环保、燃烧控制器、真空技术、表面处理、食品和制药、化工(石化)等过程控制、气体混合配比
 

　　半导体流量控制器产品特点：
 

　　温度和压力不敏感
 

　　设计劲凑，可安装任意位置
 

　　优越的零点稳定性
 

　　超快的响应速度
 

　　良好的重复性和再现性
 

　　采用液晶触控显示和控制
 

　　配备比例电磁阀