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产品展示
【简单介绍】
【详细说明】
型号: SLA5851S 品牌: BROOKS
上海网磁电子有限公司专业供应美国原装、全新
的质量流量计－MFC,BROOKS。专业用于制造
单晶硅炉和多晶硅炉设备上面使用，适用的气体
有氮气、氩气、氢气、氧气等纯净气体。
气体的zui大量程：50－120SLM,数字和模拟兼容
电气接口：D型15针 管道接口：3/8"VCR
交货周期：4周左右，*订货，周期还会短。
可以*替代和兼容MKS的相关流量计。
Analog I/O Option:
• 15-pin D-Connector
• 0（1）-5 Volt or 0（4）-20 mA setpoint and flow signals
• Single sided 24 Volt DC power supply
（13.5-27 volts DC range）.
• Separate Valve-Override signal
• Precision 5 Volt Reference Output signal
• Compatible with Brooks' Model 0150 series
secondary electronics
• TTL （open collector） Alarm Output signal
Digital Communication Options:
的质量流量计－MFC,BROOKS。专业用于制造
单晶硅炉和多晶硅炉设备上面使用，适用的气体
有氮气、氩气、氢气、氧气等纯净气体。
气体的zui大量程：50－120SLM,数字和模拟兼容
电气接口：D型15针 管道接口：3/8"VCR
交货周期：4周左右，*订货，周期还会短。
可以*替代和兼容MKS的相关流量计。
Analog I/O Option:
• 15-pin D-Connector
• 0（1）-5 Volt or 0（4）-20 mA setpoint and flow signals
• Single sided 24 Volt DC power supply
（13.5-27 volts DC range）.
• Separate Valve-Override signal
• Precision 5 Volt Reference Output signal
• Compatible with Brooks' Model 0150 series
secondary electronics
• TTL （open collector） Alarm Output signal
Digital Communication Options:
• DeviceNetTM, ODVATM certified
• FOUNDATIONTM Fieldbus, H1 Certified
• HART® based RS-485 multidrop
全线代理韩国TK的各种接头、阀门、不锈钢管，欢迎洽谈
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