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【简单介绍】
【详细说明】
STD型
半导体制造过程中，无论是高纯度的大宗气体或工艺冷却水分配系统，
都可能需求zui高级别的阀门，保证无泄漏，洁净，高流动性和安全性，
TKSCT高纯各类阀门以zui低的成本满足安装所需，从而TKSCT高纯阀成为
世界各地的工厂的阀门。
主要技术参数:
| Size | 1/2″, 3/4″ |
| Cv Value | 3.5 |
| Max. Working Pressure（G.） | 1.5MPa |
| Operating Pressure （G.） | 0.5~0.7MPa |
| Max. Working Temp. | -10℃ ~ 65℃ |
| Internal Leakage Allowance （He） | 1x10-10 Pa · ?/s |
| Test Pressure ≤ 1×10-2 Torr | |
| Holding Time ≥ 15 sec. | |
| External Leakage Allowance （He） | 1x10-10 Pa · ?/s |
| Test Pressure ≤ 1×10-2 Torr | |
| Holding Time ≥ 1 min. | |
| Particle Inspection （EP only） | No count |
| Pressure : 60~80psi N2 Gas | |
| Sample Volume : 1CFM | |
| 0.1? and Larger |
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