对于半导体材料的电阻率，一般采用四探针、三探针和扩展电阻。
电阻率是反映半导体材料导电性能的重要参数之一。测量电阻率的方法很多，四探针法是一种广泛采用的标准方法。它的优点是设备简单、操作方便，度高，对样品的形状无严格要求。
常用的是直线型四探针。四根探针的针尖在同一直线上，并且间距相等，都是S，一般采用0.5mm的间距，不同的探针间距需要对测量结果做相应的校正。
一般目前的四探针电阻率（电导率）测试仪均已配置厚度的修正，通过厚度数值的设置，计算出不同的样品厚度对电阻率的影响。
3.1.电阻率测量范围、分辨率
电 阻 率：10.0×10-6～ k×200.0×103Ω-cm 分辨率1.0×10-6～ 0.1×103Ω-cm,k=1～10
3.2.电阻率量程划分及误差等级
满度显示 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 |
量程 | KΩ-cm | Ω-cm | mΩ-cm |
基本误差 | ±2%读数±4字 | ±1.5%读数±4字 | ±0.5%读数 ±2字 | ±0.5%读数 ±4字 |
3.3.数字电压表：
⑴量程：10mV ～ 100 mV，自动
⑵显示: 4位有效数字，大显示999.9，小数点、单位自动显示
3.4.数控恒流源8档宽量程
电流输出：系统自动步进调整，直流电流0.1μA，1.0μA，10μA，100μA，1.0mA,10mA,100mA,1.0A共8档可调。
3.5.粉末测试台部分参数：
（1）试样成份：成份不限，但不得含有对测试台和电极有腐蚀作用的成份。
（2）试样粒度：*以40目以下—60目以上（标准筛网），一般其他粒度也可！
（3）料杯容积：截面：S=1.0cm2
高度：0～20mm可调,
（4）自动高度测试单元，测量误差：±0.02mm。
四位有效显示数00.00～20.00mm，分别率±0.02mm。
（5）自动压强测试单元，
标准压强：P0=4Mpa±0.05Mpa。
压强量程：20Mpa, P=0～20 Mpa可调。
四位有效显示数00.00～20.00MPa，分别率±0.01 MPa。
（6）、压力机构采用手动操作、压力平稳可调。
3.6.配套PC软件
1 USB高速通讯接口。
2带数据库方式存储数据，便于历史查询和第三方软件拓展共享。
3自动生成excel形式的图表结合的测试报告,包含电阻率-压强曲线图形和详细测试数据。
4带测试报告预览、编辑、打印功能。
3.7.测试仪外形与重量
前宽×长×总高=250mm×220 mm×540mm
重 量=10Kg
3.8.电源：
功 耗：< 10W
输入:220V±10% 50Hz
3.9.本仪器工作条件为：
温 度： 0-40℃
相对湿度： ≥60%
工作室内应无强电磁场干扰，不与高频设备共用电源。
