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CMP设备用轴承

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更新时间：2022-05-11 14:16:17浏览次数：102次

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由于CMP设备轴承在暴露于研削液的环境下工作，所以使用的是耐腐蚀性强的陶瓷材质轴承，及采用了PTFE涂层的轴承

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由于 CMP 设备轴承在暴露于研削液的环境下工作，所以使用的是耐腐蚀性强的陶瓷材质轴承，及采用了 PTFE 涂层的轴承。

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