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俄歇电子能谱仪（在线表面分析）

简介：

microCMA是一种紧凑型（2.75“CF安装）柱面镜式俄歇（AES，俄歇电子能谱）分析仪。

microCMA是30年来投入市场的*创新性的俄歇分析仪。

优异性能：

2.75英寸法兰安装CMA，内置3kV同轴电子枪。这两项功能的结合使microCMA在竞争中脱颖而出。

microCMA安装在2.75英寸法兰上，这意味着它可以添加到大多数腔室，而无需向腔室添加另一个端口（大多数腔室有额外的2.75英寸端口可用）。

小型化还意味着，只需一个T形管和一个小型离子泵，而不是传统的大型腔室，就可以制造出一个完整的系统。

同轴电子枪使样品（弹性峰）易于对准，也无需电子枪（电子源、电源和法兰）。

技术参数：

紧凑型2.75“CF法兰安装

同轴3kV电子枪

CeBix灯丝（运行温度低于Lab6）

USB控制

ASCII命令

经验证的CMA设计

应用领域：

表面分析

螺旋钻/AES

薄膜分析

冶金学

半导体

原位

分子束外延

超高真空