PE-200 是一款工业强度等离子清洗系统，带完整的氧气供应真空泵。牢固可靠，而且性价比高，适合的制造企业, 能满足7天X24小时不间断运行。全铝反应腔提供非常宽松的尺寸，可处理表面积超过500平方英寸。
PE-200提供三种功能配置：
1. 常规的等离子清洗和等离子蚀刻
2. 反应离子蚀刻（RIE）
3. PE-200可转换配置，一个系统包含各向异性和各向同性等离子体处理, 可移除托盘配置。
简介
PE-200焊接铝真空反应腔包含一个宽松的500平方英寸的有效等离子处理面积。通过PLASM ETCH表面改性可以获得增强的结合力和提升多数表面材料的洁净度。
典型的客户包括：生产制造工程，研究和开发实验室，测试工厂以及大学。工业客户包括生物医药，牙科，电子，光电子，，塑料，光学，太阳能电池电池板等。.
特性
使用我们的等离子清洗机刻蚀，比较化学浸泡方法，可以避免昂贵的有害化学废水处理。等离子处理非常容易使用，通过导引型触摸屏操作控制等离子过程的各个参数，来确保高重复性。
我们可以客户化配置反应腔和电极，来满足您的产品或是过程需要，包括客户化尺寸水平电极，RIE(反应离子蚀刻) 和半导体引线边框的布局。
技术规格表
标准配置
焊接铝真空反应腔
3层水平处理电极 13" 宽 x 16" 深 3" 间隔距离
300 瓦射频发生器 @ 13.56MHZ, 带自动匹配网络
一个200sccm质量流量控制器
皮拉尼真空计0-1托
微处理器控制系统，带触摸屏界面
存储20组过程参数
29CFM带氧气供应真空泵
3微米真空泵油水分离器
选项
静电防护
过程温度控制
600W射频发生器 @ 13.56MHz, 带600W自动匹配网络
59CFM带氧气供应真空泵（3级）
自动2点氮气输入系统，用于延长真空泵寿命
信号灯塔
MKS自动节流真空控制器
2个质量流量控制器（最多3个）
软件选择5种过程气体输入矩阵
控制氮气输入速率
真空泵排气端油水分离器
客户化反应腔尺寸和配置
客户化电极尺寸和配置
RIE(反应离子蚀刻)配置
工厂配置
压缩空气干燥器用于真空泵输入气体供应
电压：交流208伏， 50/60赫兹, 30安培，单相或是三相
系统重量：等离子反应器 350lbs，真空泵180lbs
系统尺寸：等离子反应器 36“ X 36" X 32"
厂务条件：
120/208伏交流电，五线三相，或是208伏交流电，4线单相
温度低于29.5摄氏度，非冷凝
压缩气体供应80-100psig <0.5 CFM
可调过程气体15-30PSIG
案例学习：
客户制作各种陶瓷部件。为了检测等离子处理这些陶瓷的效果，处理前后进行接触角测试。处理前，接触角88度。处理后，接触角降低到12度。接触角在每个样品的5个位置进行测试，接触角偏差2度。
接下来的测试显示，接触角较低会显著提升结合力
客户在金丝焊接前，使用氩氧等离子处理， 提升结合力。因为测试样品的一致性，客户最终选择PLASMA ETCH。
