气浮导轨

一，线性气浮导轨由下一代技术组成，使用优质的航空材料制造。

• 直线空气滑块产品线是使用我们的空气轴承设计和我们的基础多孔介质技术构建的，该技术通过使用坚硬的薄空气层作为轴承面和导向面之间的运动介质来消除摩擦。碳的自然渗透性确保了空气的均匀流动，提高了精度和运行效率，以及坚固的抗碰撞设计。

• 气浮导轨产品包括“矩形系列，T系列，U系列，燕尾系列”。

• 我们提供了广泛的风格，尺寸和的功能生产，方便改装到新的和现有的应用。

二，标准空气轴承指导公差

1）局部直线度:0.25µm / 25mm，误差2µm / 1000mm。

2）平整度:0.0005mm或0.00002inc。

三，气浮导轨应用场景

1）半导体

• 半导体行业需要保持纳米级精度的高速运行，以确保数量和质量。
• 洁净室条件是常态，而不是例外，使多孔介质空气轴承成为消除释气和润滑剂问题的理想选择。

2）微加工

• 由多孔介质提供的坚硬均匀的空气膜可实现亚纳米级的精度，并形成抗碰撞设计，从而限度地减少潜在的损坏。
• 由于几乎消除了维护停机时间，因此提高了制造效率。

3）三坐标测量机

• 非接触式运动与真空复制相结合，提供纳米级，无滞后的运动，以实现真正准确的测量。
• XY 和 XYZ 龙门架配置的多功能设计可实现探头和传感器的垂直应用，以及传统的水平应用。

4）光学研磨

• 通过消除振动和谐波噪声，磨削操作可实现可重复的精确运动。
• 不含润滑剂的气膜消除了无污染环境中的释气问题。