货号

SV-C3200S4

SV-C3200H4

SV-C3200W4

SV-C3200S8

SV-C3200H8

SV-C3200W8

SV-C4500S4

SV-C4500H4

SV-C4500W4

SV-C4500S8

SV-C4500H8

SV-C4500W8

? 测量表面粗糙度时

测量范围

X轴(驱动部）

100mm

200mm

Z1轴(检出器）

800μm/80μm/8μm

直线度

(0.05+L/1000)μm L:驱动长度(mm）

0.5μm/200mm

分辨力

Z1轴(检出器）

0.01μm ( 800μm ) , 0.001μm ( 80μm ) , 0.0001μm ( 8μm

测力

0.75mN  ( 机身代码末尾带 "-1" 的型号 )

4mN  (机身代码末尾带 "-2" 的型号）

测针针尖形状

60o, 2μmR  ( 机身代码末尾带 "-1" 的型号 )

90o, 5μmR  ( 机身代码末尾带 "-2" 的型号 ）

对应尺寸

JIS1982/ JIS1994/ JIS2001/ ISO1997/ ANSI/ VDA

评价参数

Pa,Pq,Psk,Pku,Pp,Pv,Pz,Pt,Pc,PSm,Pq,Pmr(C),Pmr,Pc,Ra,Rq,Rsk,Rku,Rp,Rv,Rz,

Rt,Rc,RSm,Rq,Rmr(C),Rmr,Rc,Wa,Wq,Wsk,Wku,Wp,Wv,Wz,Wt,Wc,WSm,Wq,

Wmr(C),Wmr,Wc,Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rx,AR,R,Wx,AW,W,Wte,Ry,RyDIN,

RzDIN,R3y,R3z,S,HSC,Lo,Ir,a,a,q,Vo,Htp,NR,NCRX,CPM,SR,SAR,NW,SW,SAW

评价轮廓

原始轮廓、粗糙度轮廓、滤波波纹轮廓、波纹轮廓、滚动圆波形原始轮廓、滚动圆波形轮廓、包络残余线、 DF  轮廓 ( DIN4776 / ISO13565-1 ) 、表面粗糙度 MOTIF(包络波纹轮廓在评价 MOTIF 时显示）

分析图

负荷曲线、振幅分布曲线、功率谱、自相关、 Walsh  功率谱、 Walsh  自相关、分布、倾斜角分布、参数分布(磨损量、重叠在轮廓分析可以用于面积等的原始分析）

曲线补偿

最小平方直线、 R  面补偿、椭圆补偿、抛物线补偿、双曲线补偿、二次曲线补偿、多项式补偿 ( 自动或任意 2~7  次 ) 、无补偿

曲线补偿

高斯滤波器 , 2CRPC75, 2CRPC50, 2CR75, 2CR50,  鲁棒样条滤波器

?  轮廓测量

测量范围

X轴(驱动部）

100mm

200mm

Z1轴(检出器）

60mm  ( 测臂水平位置 ±30mm

直线度

0.8μm/100mm

2μm/200mm

精度

X轴(驱动部)

Z1轴(检出器）

SV-C3200系列:±(1.6+|2H|/100)μm,SV-C4500系列:±(0.8+|2H|/100)μm

H:  水平位置上的测量高度 ( mm )

分辨力

X轴(驱动部）

0.05 μm

Z1轴(检出器）

SV-C3200  系列 : 0.04μm, SV-C4500  系列 : 0.02μm

Z2轴(立柱）

1 μm

测力

SV-C3200  系列 : 30mN  ( 可调使用重量 ）

SV-C4500  系列 : 10, 20, 30, 40, 50mN  ( 根据软件转换 ）

测头方向

SV-C3200  系列 :  垂直方向 ( 向上 /  向下单独测量 )

SV-C4500  系列 :  垂直方向 ( 向上 /  向根据配重调整 ）

?  通用时

Z2轴(立柱)移动量

300mm

500mm

300mm

500mm

X 轴倾斜角度

±45o

驱动速度

X轴

0 - 80mm/s  外加手动

Z2轴(立柱)

0 - 30mm/s  外加手动

测量速度

0.02 - 5mm/s