上海洛丰精密检测仪器有限公司
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菲索型激光干涉仪，具有环形光源伪迹消除抑制技术，是一种高精度、共光路面形计量干涉仪。ZYGO新一代激光干涉仪系列--VeriFire激光干涉仪，继承了工业标准GPI激光干涉仪系列的大部分优点，融合了机械相移技术、革命性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、振动补偿软件、非球面测量技术和波纹抑制技术等。 Zygo推出用于在震动环境下测量的DynaFiz干涉仪。
系统:
◆测量功能：精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前
◆测量技术：机械相移干涉测量（PSI）
◆校准系统 ：快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)
◆测量光束直径 ：4″（102mm）或6″（152mm）
◆对准视场范围FOV ：4″：±3°；6″：±2°；
◆光学中心线 ：4.25″（108mm）
◆激光光源：大功率稳频氦-氖激光，III
◆波长： 633 nm
◆频率稳定度： < 0.0001 nm
◆相干长度 ：＞100m
◆成像分辨率 ：1000 x 1000 像素
◆帧速 ：43Hz
◆数据采集时间 ：302ms
◆数据模式： 8位
◆放大 ：电控数显放大1-5X
◆偏振 ：接近圆偏振（1.2：1或者更好）
◆光曈调焦范围： 4″：±2.5m；6″：±5.5m；
◆计算机和软件 ：高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO软件MetroproTM X和MetroproTM 9
◆安装构造 ：水平卧式或垂直立式
◆附件 ：详细参考ZYGO 激光干涉仪附件向导文件，OMP-0463
◆尺寸(长x宽x高)： 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.）
性能参数：
◆RMS重复性： < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)
◆RMS波前重复性：< 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)
◆像素峰值偏差：< 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)
工作环境：
◆温度:15°C - 30°C (59°F - 86°F)
◆温度变化率： ＜1.0°C/15min
◆湿度:相对湿度5% - 95% , 无凝结
◆隔振:机械移相测量模式推荐使用被动隔振系统。
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