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MKS I系列IE1000A质量流量控制器
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深圳市科锐诗汀科技有限公司·更新于2025-01-16 08:49:40·5次访问
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IP66额定多气体,多范围弹性体密封500-1000 slm质量流量控制器

 I系列IE1000A质量流量控制器是采用IP66防护等级的弹性体密封的多气体/多量程MFC,设计用于苛刻的工业环境,在这些环境中,必须具有耐液体和灰尘侵入的性能。IE1000A的满量程范围为501到1000 slm(相当于N2)。的控制阀设计可实现如此宽的流量范围,该设计对设定点变化做出快速响应,同时保持封闭的电导率泄漏率远低于其他高流量质量流量控制器。

·        流量从500到1000 slm

·        Viton,Buna,氯丁橡胶或EPDM的密封件和阀塞选件

·        模拟,RS485,Profibus™或DeviceNet™I / O

·        标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0%

·        1-2秒建立时间

技术指标

满量程流量范围

501-1000 slm(相当于N2)

储存湿度

0至95%相对湿度,无凝结

入口压力

150磅/平方英寸

贮存温度

-20°至65°C

正常工作压力差

40至50 psid

外部泄漏完整性

<1 x 10 -9(scc / sec He)

爆破压力

1500磅/平方英寸

封闭阀的泄漏完整性

在40 psia至vac时<1.0%满量程(<500 mTorr)

控制范围

满量程的2%至100%

湿材料

316 SS,Elgiloy,430FR,PTFE(标准)

典型精度

满量程的20%至100%时为设定值的±1%
满量程的5%至20%时为满量程的0.25%

密封材料

Viton®(VI级)或EPDM(VI级)

重复性

读数的±0.5%

表面处理

平均Ra 16 µinch

解析度

读数的0.1%

重量

12.7磅 (5.8公斤)

零温度系数

<满量程的0.05%/°C

外壳等级

IP66

跨度温度系数

<0.08%的读数/°C

合规

CE认证

进气压力系数

<0.08%的读数/ psi

电源要求

+15至+24 VDC @(<8瓦)

典型建立时间

在50 psi的10%满量程下典型<3秒

流量输入输出信号

电压:0至5 VDC
电流:4至20 mA

热身时间

1小时

模拟量I / O连接器

电压:15针“ D”型公头
电流:15针“ D”型公头

工作温度

10°至50°C

储存湿度

0至95%相对湿度,无凝结

特征

快速建立时间

2至3秒的建立时间和低于设定值1%的设定点精度超过了其他典型的高流量MFC。精确控制保持在MFC配置的满量程流量范围的2%。多气体/多量程功能,以及针对精度,控制范围和瞬态响应的严格性能规格,使用户可以地减少高流量MFC零件编号的库存。

多气体/多量程功能

可通过MFC的嵌入式诊断界面访问多气体/多量程功能(以及其他自定义控件),而无需任何特殊的软件或硬件即可操作。所有需要的工具都是标准的以太网电缆和支持JAVA的HTML浏览器。典型的高流量气体的关键气体参数已存储在设备中。配置设备仅是从下拉菜单中选择气体并所需的满量程流量范围。诊断界面还允许用户执行常规设备运行状况检查,绘制流量响应并存储操作数据以进行离线分析。

IP66防护等级

Thesre质量流量控制器设计用于要求抵抗液体和灰尘进入的恶劣环境。应用包括可能需要“软管缩水”的应用,例如工业玻璃生产中存在水分和微粒的情况。这些MFC具有IP66防护等级的外壳,可以满足这些苛刻环境的严格要求。


深圳市科锐诗汀科技有限公司,位于中国改革开放的前沿城市——深圳 真空技术属于实验物理的基础技术的一个分支,是随着原子物理、电子工业等领域的发展而发展起来的。超高真空的获得和测量由阿尔培特在1950年基本建立以后,真空技术已与表面物理有了密切的联系。 改革开放以来,我国真空技术的应用90%左右都是集中在传统工业领域,如真空干燥、真空冶金、真空热处理、真空吸附、真空镀膜、真空浸渍干燥、真空蒸馏、浓缩以及真空排气、真空包装、制冷等行业。近年来,国外的真空技术应用已从传统的工业领域转向半导体、平板显示(LCD,PDP,OLED)、太阳能光伏电池、化学工业、生物制药等产业领域,真空系统已经出现更新换代的局面。正是在这样的时代背景下,我公司致力于把的真空技术、产品和设备引进中国,为我们的客户创造更多的价值。 多年来,我们专注于真空及镀膜设备行业,积累了丰富的专业知识和行业经验,诚信为广大客户提供优质的服务, 在真空、光学、电子、半导体、平板显示、LED、太阳能等相关领域,我们拥有了大量的优质客户和合作伙伴,为他们提供技术、设计、产品、信息、配件等的服务,与客户深入交流,紧密合作,共赢发展。
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