2025-01-16 08:40:2111
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HTC连续式真空订制腔体的详细资料：连续式（In-line）设备腔体的几何形状大都为矩形，依照基板传输方位可分为立式和卧式，腔体之间视制程的需求装置阀门作为区隔，连续式腔体可以应用在：防电磁波干扰（Anti-EMI）镀
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