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- 厂商性质:其他
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编号内容规格参数备注1整机结构带loadport系统分为前端设备操作单元、前端EFEM单元及等离子处理单元，前端EFEM系统与等离子体处理单元分体式设计2等离子体源射频等离子体源或双频等离子体源3反应腔室标准设计为双反
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