2024-08-23 10:26:0669
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直流磁控溅射电源特点：①采用标准化设计，模块化结构；②带功率因数校正③高频功率变换部分采用ZVZCS软开关技术；④可并联、串联工作，提高输出电压、电流等级；⑤能N+1备份
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