爱德华新型干泵EPX500N/NE系列

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东莞市品雅真空设备有限公司多年来一直从事进口真空泵的销售和维修，我们主要经营销售的品牌有，莱宝，爱德华，安捷伦，瓦里安，阿，阿尔卡特，汉钟等，常年现货供应各种进口真空泵的维修配件，耗材，真空泵油等。

新的紧凑型 EPX500 N/NE高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX500 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。

EPX“N"系列包括一个可提供氮清洗的气体模块，从而可将应用范围扩大为中等制程，在这类制程中预期存在的腐蚀性蒸汽和微粒的程度较低。

模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。

行业应用：
负载锁
传输腔
PVD 溅射
灰化/PR 剥离
电介质刻蚀
EPX 系列涵盖广泛的应用，从水处理到中度工作负载的制程。

EPX500N/NE性能 参数：

EPX500N订货号：

EPX500N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接头
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EPX500N 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接头
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EPX500N 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接头
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EPX500N 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接头
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EPX500N 干泵 208V TEL TIM 1/4 水接头
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EPX500N 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接头
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EPX500N 干式泵 400V，3/8 水接头
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EPX500NE订货号：
EPX500NE 208V 无 TIM 3/8 水接头
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EPX500NE 400V 无 TIM 3/8 水接头
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EPX500NE 208V 无 TIM 1/4 水接头
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EPX500NE 208V SPI TIM 3/8 水接头
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EPX500NE 400V SPI TIM 1/4 水接头
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EPX500NE 208V TEL TIM 3/8 水接头
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EPX500NE 400V TEL TIM 3/8 水接头
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EPX500NE 400V TEL TIM 1/4 水接头
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EPX500NE 208V LAM TIM 3/8 水接头
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EPX500NE 208V MCM TIM 3/8 水接头
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EPX500NE 400V MCM TIM 3/8 水接头
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性能优势：
紧凑的占地面积 – 作为可用的最小工具上泵之一，EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。
低运行成本 – EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式，从而可功率效率。
的保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在所有进气口压力下连续工作。
超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。
非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大约每 5 年维修一次，地延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络 – EPX 系列配有最终用户控制，可以连接到各种结构的网络，以进行诊断监视和控制。