QQ交谈爱德华螺杆真空泵IH80/160维修
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- 东莞市品雅真空设备有限公司
- 2025-01-12 08:30:27
- 东莞市
- 12
【简单介绍】
【详细说明】
爱德华螺杆真空泵IH80/160维修，半导体行业专用爱德华螺杆真空泵IH80/160，爱德华螺杆真空泵IH80/160，四川绵阳爱德华螺杆真空泵IH80/160维修，爱德华螺杆真空泵IH80/160维修需要更换哪些配件，爱德华螺杆真空泵IH80/160多长时间保养一次。欢迎： 杨生
东莞市品雅真空设备有限公司专业从事爱德华真空泵设备维修15年，一直秉承着专业的维修技术，高效的服务态度来对待可以，常年服务去汉能，中车集团，富士康集团，信利集团等，有着专业的维修设备和技术人员，可以全国范围内上门维修保养，提供各种进口真空泵配件及维修包，真空泵油脂等。
爱德华螺杆真空泵IX80/160产品功能与优势：
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
行业应用：
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
技术参数
| 峰值速度 | 103 m3h-1 |
| 61 cfm | |
| 1717 l min-1 | |
| 极限真空 | 1 x 10-2 mbar |
| 7.5 x 10-3 Torr | |
| 1 Pa | |
| 典型轴封氮流量 | 4 slm |
| 进气口连接 | ISO63 |
| 出口连接 | NW40 |
| 15 psi 压降下典型冷却水流量 | 120 l h-1 |
| 2 l min-1 | |
| 重量 | 240 kg |
| 极限功率输入 | 2.7 kW |
| 电机额定功率 | 3.5 kW |
| 油容量 | 0.7 l |
IH160技术参数：
| 峰值速度 | 165 m3h-1 |
| 97 cfm | |
| 2750 l min-1 | |
| 极限真空 | 1 x 10-2 mbar |
| 7.5 x 10-3 Torr | |
| 1 Pa | |
| 典型轴封氮流量 | 4 slm |
| 进气口连接 | ISO63 |
| 出口连接 | NW40 |
| 15 psi 压降下典型冷却水流量 | 120 l h-1 |
| 2 l min-1 | |
| 重量 | 244 kg |
| 极限功率输入 | 3.1 kW |
| 电机额定功率 | 5.0 kW |
| 油容量 | 0.85 l |
爱德华螺杆真空泵IH80/160订货号：
iH80 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A
iH80 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A
iH80 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A
iH80 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A
iH160 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A
iH160 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A
iH160 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A
iH160 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A
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