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创生源自动化依托本公司雄厚的技术力量, 自主研制了AWLB-PE6500系列全自动石墨框上下料一体机, 刻蚀制程后花篮中硅片自动上料至石墨框，背钝化板式PECVD镀膜制程完成后石墨框下料至花篮或堆栈片盒。整个上下料过程全自动控制，避免因人工装片/卸片对硅片表面产生的污染且有效降低碎片率,有助于产能与良率比。 

设备名称: 在线PERC全自动石墨框上下料一体机

设备型号：AWLB-PE6500

设备用途：AWLB-PE6500全自动石墨框上下料一体机集上料与下料为一体,可从石墨框中把镀膜后的硅片下料至花篮或堆栈片盒中,亦可从花篮中将刻蚀后的硅片上料至石墨框中。采用上料与下料可连续衔接方式，实现连续生产；也可单独装片或单独卸片。

技术特点：

---- 可应用于在线常规板式PECVD或背钝化板式PECVD石墨框上下料.

---- 可应用于156.75*156.75、160.75*160.75、162*162、166*166硅片.

---- 可应用于50片、100片等不同规格的花篮.

---- 可应用于4*6、5*6、6*6不同规格的石墨框.

---- 双通道花篮上料，提高上料生产效率。

---- 双通道花篮下料、叠片下料。 

---- 两侧上下料通道之间花篮载板可自动回流.

---- 背钝化板式PECVD与装卸片机之间石墨舟自动回流.

---- 采用总线控制,装卸片过程全自动；触摸屏菜单操作,简洁明了.

---- 具有完善的检测报警系统，保证装卸片自动运行稳定，操作放心。

---- 可选支持MES接口和远程诊断功能.

---- 可选在线隐裂片检测、在线膜厚检测、在线色差检测及不良片剔除功能。

----可选匹配智能工厂AGV接驳口.

---- 产能：Max.6500Pcs/h