全自动石英舟装卸片机 返回列表页

创生源自动化依托本公司雄厚的技术力量, 自主研制了AWLB系列全自动石英舟装卸片机,花篮上料至石英舟，扩散/热氧制程完成后石英舟下料至花篮。整个上下料过程全自动控制，避免因人工上片/下片对硅片表面产生的污染且有效降低碎片率,有助于产能与良率比。 

设备名称: 全自动石英舟装卸片机

设备型号：AWLB-D8000 、AWLB-D16000

设备用途：AWLB系列全自动石英舟装卸片机集装片、卸片、装卸片三种功能为一体,可从石英舟中把扩散后的硅片卸到花篮中,也可从花篮中将制绒制程后的硅片装入石英舟中。可在一个石英舟插卡槽中插入单片,实现双面扩散片工艺；也可在一个石英舟卡槽中插入双片，实现单面扩散工艺。采用装片与卸片可连续衔接方式，实现连续生产。

技术特点：

----可应用于离线、在线常规扩散工艺、退火工艺.

----可应用于156.75*156.75、160.75*160.75、162*162、166*166硅片.

----可应用于4.76mm、2.38mm等不同规格的石英舟卡槽.

----采用装片与卸片可连续衔接方式,实现连续生产；也可单独装片或单独卸片。

----采用PLC控制,装卸片过程全自动；触摸屏菜单操作,简洁明了.

----具有完善的检测报警系统，保证上片自动运行稳定，操作放心。

----采用连续花篮方式，降低工人劳动强度。

----可选支持MES接口和远程诊断功能.

----可选方阻检测功能.

----可选匹配智能工厂AGV接驳口.

----产能：≧16000Pcs/h